[實用新型]一體式熱屏吊具

有效

• 申請號: 200920073067.2
• 申請日: 2009-05-27
• 公開（公告）號: CN201512606U
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發明（設計）人: 顧燕濱
• 申請（專利權）人: 上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類號: C30B15/32
• 分類號: C30B15/32
• 代理公司: 上海天翔知識產權代理有限公司 31224
• 代理人: 呂伴

技術領域

本實用新型涉及一種單晶爐中用于懸掛熱屏的吊具，特別涉及的是一種集懸吊籽晶與懸掛熱屏兩項功能于一體的一體式熱屏吊具。

背景技術

半導體單晶體的生長中，大都是利用切克勞斯基法制造(簡稱CZ)法。在這種方法中，將高純度的多晶硅按一定要求裝入石英坩堝內，然后加熱石英坩堝，將其中的多晶硅溶化，接下來將熔硅略微降溫，給予一定得過冷度，等熔硅靜定后，把一根特制的標準單晶硅(通常叫籽晶)與熔硅接觸金進行引晶，引晶到適當長度后開始放肩(晶棒直徑變大)，稍后即開始轉肩，隨后即進入等徑生長階段，這一階段持續時間可以很長，視拉晶的長度而定，達到設計要求即可收尾，收尾完畢后晶棒冷卻，取出單晶體，即完成一次拉晶。

上述拉晶過程中如何提高拉晶效率及降低能耗一直是此領域研究的重點，在已知的專利文獻和實際使用的硅單晶爐中，多采用專用的熱屏和專用的熱屏吊具，如圖1所示，專用的熱屏吊具1安裝在隔離閥2中并延伸進爐蓋3內，專用的熱屏吊具1上的掛鉤11將熱屏4吊起懸掛在爐蓋3內。由于用專用的熱屏吊具1在化完料后要從隔離閥2中取出，破壞了爐體的真空，造成爐體漏氣而導致無法正常拉晶，而且在取出專用的熱屏吊具1換上籽晶后，再從新穩定這一過程中大約要耗時一個多小時左右，增加了電費、熱場成本的支出，又由于過長的時間，這樣會減薄石英坩堝的透明層厚度降低了成功拉出單晶的機會。

實用新型內容

本實用新型克服了上述的缺點，而提供一種集懸吊籽晶與懸掛熱屏兩項功能與一體的一體式熱屏吊具。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：

一體式熱屏吊具，它包括一個位于隔離閥內的本體部分，其特征在于，還包括一專門用于懸吊籽晶的籽晶夾頭和用以懸吊所述熱屏的熱屏掛鉤，籽晶夾頭和熱屏掛鉤安裝在所述本體的底部并延伸進爐蓋內。

本實用新型一體式熱屏吊具是將籽晶夾頭與熱屏吊鉤有機的結合在一起，而且兩項功能都互不干擾。大大的省去了很多的操作步驟，節約了操作的時間，既提高了操作的安全性，又大幅的降低了生產成本。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式來詳細說明本實用新型；

圖1為現有熱屏吊具的結構及安裝示意圖。

圖2為本實用新型一體式熱屏吊具的結構及安裝示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。

參考圖1，本實用新型的一體式熱屏掛鉤，它包括一個位于隔離閥2內的本體100部分，還包括一專門用于懸吊籽晶5的籽晶夾頭110和用以懸吊熱屏4的熱屏掛鉤120，籽晶夾頭110和熱屏掛鉤120安裝在本體100的底部并延伸進爐蓋3內。熱屏4通過熱屏掛鉤120懸掛于爐蓋3的上部，而籽晶5通過籽晶夾頭110懸掛在熱屏4內。

熱屏4的使用在太陽能電磁片制造行業中應該是比較普遍的，其作用可以降低單晶爐的功耗、提高成晶的速度、整流氬氣的流向等等。參看圖1，以往使用熱屏4時，在化料期間為了不影響裝料量通常將熱屏4用形狀類似與籽晶夾頭110的專用的熱屏吊具1掛起，待化完料后再打開上爐體取出該專用的熱屏吊具1，裝上籽晶繼續拉晶，這種做法必須要破壞爐體真空從隔離閥2上方取出吊具，這樣一來破壞了爐體的真空，造成爐體漏氣而導致無法正常拉晶，同時取出熱屏吊具換上籽晶5再從新未定這一過程大約需要一個小時左右，效率及其低下。

采用本實用新型的一體式熱屏吊具，化料與拉晶都在單晶爐中進行，省去了打開爐蓋重新安裝籽晶夾頭110的工序，首先化料結束后，下降熱屏4，使熱屏4到達設定的位置后組裝，在硅液溫度穩定的同時籽晶夾頭110開始預熱，這樣使熱屏4充分發揮了降低單晶爐功耗、提高成晶的速度的功效，這種一體化完成工序，不需打開單晶爐，而且沒有破壞爐體的真空使拉晶過程迅速進行。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。