[實用新型]封裝用裝片點膠頭有效
| 申請號: | 200920071540.3 | 申請日: | 2009-05-04 |
| 公開(公告)號: | CN201402798Y | 公開(公告)日: | 2010-02-10 |
| 發明(設計)人: | 吳斌 | 申請(專利權)人: | 南通富士通微電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/56;B05C5/00 |
| 代理公司: | 上海泰能知識產權代理事務所 | 代理人: | 黃志達;謝文凱 |
| 地址: | 226006江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 封裝 用裝片點膠頭 | ||
技術領域
本實用新型是一種半導體后道封裝用裝置,特別是涉及一種前道裝片工序中的裝片膠點膠頭。
背景技術
在半導體后道封裝流程中,裝片工序所使用的針式點膠頭,在作業尺寸較小的芯片或長寬比大于2∶1等的芯片時,比較普遍存在的問題是,裝片膠厚度不能達標(作業標準為>10um,實際僅能達到3~5um左右)、裝片膠溢出高度難以達標(作業標準為≤75%芯片厚度,實際可能會達到80~95%的芯片厚度),同時針式點膠頭針式排布復雜、價格高,而且使用過程中需要保證每個針孔均出膠順暢、正常,才能點出符合工藝要求的點陣圖案,針對以上種種不足,需要設計一種新型的點膠頭,可以確保裝片膠厚度及溢出高度都能達標。
發明內容
本實用新型所要解決的技術問題是提供一種封裝用裝片點膠頭,可以讓不具備寫膠功能的裝片機通過這種點膠頭點出寫的效果,同時滿足裝片膠厚度和溢出高度的標準。
一種封裝用裝片點膠頭,點膠頭上部為螺紋結構(1),下部開有點膠孔(2),點膠孔(2)的底部設有嵌入式構造的X型流動槽(3)。
有益效果
本實用新型點膠頭通過單孔擠出裝片膠,裝片膠順著流動槽流動成型,即可以點出寫膠的效果,流動槽的寬度和深度保證了裝片膠厚度和溢出高度,提高了點膠的質量,和多針點膠頭相比,降低了加工成本。
附圖說明
圖1為本實用新型結構示意圖的主視圖;
圖2為本實用新型結構示意圖的仰視圖。
具體實施方式
下面結合具體實施例,進一步闡述本實用新型。應理解,這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應理解,在閱讀了本實用新型講授的內容之后,本領域技術人員可以對本實用新型作各種改動或修改,這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。
實施例1
一種封裝用裝片點膠頭,點膠頭上部為螺紋結構1,下部開有點膠孔2,點膠孔2的底部設有嵌入式構造的X型流動槽3。根據芯片大小可以自主選擇如0.25、0.33、0.42等孔徑的點膠孔2,,根據需要的芯片尺寸確定點膠頭的長度和寬度,流動槽3采用氧化鋯材料,據需要的裝片膠厚度和溢出高度確定流動槽的寬度和流動槽的深度。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





