[實(shí)用新型]集成電路堆疊電容器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920071417.1 | 申請(qǐng)日： | 2009-04-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201466027U | 公開（公告）日： | 2010-05-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張步新;王媛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L27/02 | 分類號(hào)： | H01L27/02;H01L23/52;H01L29/92;H01L29/41 |
| 代理公司： | 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 201210 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成電路 堆疊 電容器 | ||
1.一種集成電路堆疊電容器，包括襯底和在襯底表面上相對(duì)設(shè)置的一組主極板，包括第一主極板與第二主極板，其特征在于，所述第一主極板與第二主極板之間設(shè)置有擴(kuò)展極板，所述擴(kuò)展極板僅與第一主極板或者第二主極板之一電學(xué)連接，兩個(gè)主極板中未與此擴(kuò)展極板電學(xué)連接的另一個(gè)主極板與擴(kuò)展極板電學(xué)隔離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路堆疊電容器，其特征在于，所述主極板與擴(kuò)展極板之間填充有介質(zhì)材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路堆疊電容器，其特征在于，所述擴(kuò)展極板與主極板之間通過(guò)嵌入介質(zhì)材料通孔中的導(dǎo)電插塞電學(xué)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路堆疊電容器，其特征在于，在垂直于襯底表面的方向上還包括多組彼此相對(duì)設(shè)置的主極板，每一組主極板中，僅其中一個(gè)主極板電學(xué)連接有擴(kuò)展極板，且每一組中第一主極板相互電學(xué)連接，每一組中的第二主極板相互電學(xué)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的集成電路堆疊電容器，其特征在于，所述主極板之間的電學(xué)連接采用嵌入介質(zhì)材料通孔中的導(dǎo)電插塞。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無(wú)源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的；包括至少有一個(gè)躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的無(wú)源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或適用于通過(guò)這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的；包括有熱磁組件的
