[實用新型]用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置有效
| 申請號： | 200920071345.0 | 申請日： | 2009-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN201405264Y | 公開（公告）日： | 2010-02-17 |
| 發明（設計）人： | 欒興偉;洪羿達;李強 | 申請（專利權）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分類號： | B24B53/007 | 分類號： | B24B53/007;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 201617*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 清理 開槽 磨片機上 溝槽 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在于：該裝置包括支架(2)，安裝于支架(2)一端的手柄(1)以及卡持于支架(2)另一端的滾輪(4)。
2.如權利要求1所述的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在于：所述手柄(1)一端凹設有螺紋孔(11)，所述支架(2)一端設有與所述螺紋孔(11)配合的外螺紋(23)。
3.如權利要求1或2所述的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在于：所述支架(2)另一端設有收容滾輪(4)的通槽(22)。
4.如權利要求3所述的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在于：所述滾輪(4)中部設有通孔(411)，所述支架(2)另一端設有與通槽(22)垂直的開孔(21)，所述開孔(21)與滾輪(4)中部的通孔(411)用螺栓(3)連接。
5.如權利要求4所述的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在于：所述滾輪(4)包括自中心向邊緣厚度順次減小的中間部分(41)、過渡部分(42)以及邊緣部分(43)。
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