[實(shí)用新型]夾具及相應(yīng)的掩模板組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920070375.X
• 申請(qǐng)日: 2009-04-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201464800U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧子軒
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F1/00
• 分類(lèi)號(hào): G03F1/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種夾具及相應(yīng)的掩模板組件。

背景技術(shù)

在集成電路制造領(lǐng)域，光刻系統(tǒng)包括激光器、具有光刻印刷圖案的掩模板、多個(gè)投射光學(xué)裝置以及多個(gè)反射光學(xué)裝置，其中激光器用以提供輻射光。可在晶片上的一個(gè)或多個(gè)沉積層上形成光阻材料，光刻系統(tǒng)通過(guò)透射光學(xué)裝置或者由反射光學(xué)裝置反射輻射光到掩模板上，來(lái)自掩模板上的輻射光將形成圖案的圖像轉(zhuǎn)移到光阻材料上，并進(jìn)行蝕刻以形成半導(dǎo)體器件。其中，掩模板可由玻璃或鉻制成。

由于在掩模板使用過(guò)程中，環(huán)境中的顆粒或其它污染物經(jīng)常會(huì)附著到掩模板表面，而導(dǎo)致掩模板不能使用。因此，業(yè)界通常使用表膜來(lái)保護(hù)掩模板，使其不受微粒污染。表膜允許輻射光通過(guò)表膜并到達(dá)掩模板上，且可防止顆粒通過(guò)所述表膜。

具體請(qǐng)參考圖1，其為現(xiàn)有技術(shù)的掩模板組件的剖視圖，如圖所示，掩模板組件10包括：表膜、掩模板11以及粘合劑12，所述表膜包括透明的薄膜13以及表膜框架14，薄膜13連接于表膜框架14，表膜框架14通過(guò)粘合劑12粘接在掩模板11的表面，以保護(hù)掩模板11的表面免受顆粒污染。

通常一個(gè)掩模板可重復(fù)地印刷幾千個(gè)晶片，在其使用期間，需要經(jīng)常清洗維護(hù)。在掩模板的清洗過(guò)程中，需要先卸載表膜。然而，目前使用粘合劑將表膜固定在掩模板上，卸載表膜的過(guò)程非常復(fù)雜，需要使用化學(xué)試劑去除粘合劑，由于清洗過(guò)程的復(fù)雜性，縮短了掩模板的使用壽命。并且在清洗過(guò)程中，粘合劑經(jīng)常殘留在掩模板的表面上，而導(dǎo)致掩模板損壞，表膜框架卸載后，因粘合劑被破壞也無(wú)法繼續(xù)使用。

另外，由于表膜使用粘合劑固定于掩模板上，粘合劑會(huì)釋放出氣體，在光刻系統(tǒng)曝光過(guò)程中，隨著輻射光曝光量的累計(jì)，會(huì)在掩模板表面形成結(jié)晶，導(dǎo)致掩模板無(wú)法繼續(xù)使用。

因此，提供一種將表膜框架固定在掩模板上的夾具，避免使用粘合劑，裝卸方便，可提高生產(chǎn)效率，并可提高表膜及掩模板的使用壽命，是十分必要的。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種夾具及相應(yīng)的掩模板組件，以解決現(xiàn)有的表膜框架利用粘合劑固定在掩模板上，減少掩模板的使用壽命，且表膜框架卸載后因粘合劑被破壞，無(wú)法繼續(xù)使用的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種夾具，用以將表膜框架固定在掩模板上，所述表膜框架的上表面具有一卡槽，所述夾具包括：第一固定部，與所述掩模板相匹配，卡合在所述掩模板的邊沿；以及第二固定部，與所述第一固定部連接，并與所述表膜框架相匹配，插入所述卡槽內(nèi)以固定所述表膜框架的位置。

可選的，所述第一固定部的截面呈形。

可選的，所述第二固定部包括一彎折部，其一端與所述第一固定部連接，其另一端向下彎折延伸形成一插入部，所述插入部與所述卡槽相匹配，插入所述卡槽內(nèi)以固定所述表膜框架的位置。

可選的，所述夾具的材質(zhì)為不銹鋼。

可選的，所述夾具是一體成型的。

本實(shí)用新型還提供一種掩模板組件，包括掩模板以及表膜，所述表膜包括薄膜以及與所述薄膜連接的表膜框架，所述表膜框架的上表面具有一卡槽，還包括夾具，用以將所述表膜框架固定在所述掩模板上，其中，所述夾具包括：第一固定部，與所述掩模板相匹配，卡合在所述掩模板的邊沿；以及第二固定部，與所述第一固定部連接，并與所述表膜框架相匹配，插入所述卡槽內(nèi)以固定所述表膜框架的位置。

可選的，所述第一固定部的截面呈形。

可選的，所述第二固定部包括一彎折部，其一端與所述第一固定部連接，其另一端向下彎折延伸形成一插入部，所述插入部與所述卡槽相匹配，插入所述卡槽內(nèi)以固定所述表膜框架的位置。

可選的，所述夾具的材質(zhì)為不銹鋼。

可選的，所述夾具是一體成型的。

可選的，所述夾具的數(shù)量為四個(gè)。

可選的，所述表膜框架的下表面具有一凹槽。

可選的，所述掩模板組件還包括密封圈，設(shè)置于所述凹槽內(nèi)，并貼合于所述掩模板。

可選的，所述密封圈的材質(zhì)為橡膠。

本實(shí)用新型提供一種夾具及相應(yīng)的掩模板組件，所述夾具用以將表膜框架固定在掩模板上，其包括卡合在掩模板邊沿的第一固定部，以及與表膜框架相匹配的第二固定部，所述夾具可將表膜框架牢靠的固定在掩模上，且裝卸方便，提高了表膜以及掩模板的使用壽命，節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的掩模板組件的剖視圖；

圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例所提供的掩模板組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型另一實(shí)施例所提供的掩模板組件的剖視圖。