[實用新型]氣相沉積設備反應腔的加熱裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920070253.0
• 申請日: 2009-04-10
• 公開（公告）號: CN201406469Y
• 公開（公告）日: 2010-02-17
• 發(fā)明（設計）人: 甘志銀;胡少林;王亮;陳倩翌;劉勝
• 申請（專利權）人: 廣東昭信半導體裝備制造有限公司
• 主分類號: C23C16/48
• 分類號: C23C16/48;C23C16/18
• 代理公司: 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標事務所（普通合伙）
• 代理人: 湯喜友

1.一種氣相沉積設備反應腔的加熱裝置，氣相沉積設備反應腔由設置于加熱器系統(tǒng)頂部的氣體A進氣管道(14)、反應氣體B進氣管道(15)、設置于反應氣體B進氣管道(15)末端的緩沖腔(18)及噴淋口(17)、設置于噴淋口(17)下的反應室(21)、以及基座(20)、石墨舟(19)、加熱器(31)、反應廢氣排出管道(23)組成，其特征在于所述加熱器(31)位于基座(20)內，加熱器(31)的加熱片(7a、7b、7c)位于加熱片支撐盤(30)之上，加熱片支撐盤(30)位于基座頂部內側下方，電極盤(22)設置為地線電極盤(22a)、內圈火線電極盤(22b)、中圈火線電極盤(22c)、外圈火線電極盤(22d)四個區(qū)域，加熱片(7a、7b、7c)的一端分別經地線電極連接柱(8a、8b、8c)、地線盤(6a、6b、6c)、地線導電支撐柱(2a、2b、2c)、夾具(11)、地線電極盤(22a)與地線引出電極25連接，加熱片(7a、7b、7c)的另一端分別經火線電極連接柱(9a、9b、9c)、火線盤(5a、5b、5c)、火線導電支撐柱(1a、1b、1c)、夾具(11)、火線電極盤(22b、22c、22d)與火線引出電極(26、28、29)連接，支撐盤(30)、火線盤(5a、5b、5c)、地線盤(6a、6b、6c)之間經連接支撐柱(12)固定連接，夾具(11)固定在地線電極盤(22a)、火線電極盤(22b、22c、22d)之上，加熱片支撐盤(30)、地線盤(6a、6b、6c)、火線盤(5a、5b、5c)、導電支撐柱(1a、1b、1c、2a、2b、2c)經夾具(11)夾持固定，隔熱盤(3a、3b、3c)位于火線盤(5a、5b、5c)的下方，隔熱盤的層間經連接支撐柱(4)固定連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的氣相沉積設備反應腔的加熱裝置，其特征在于所述基座(20)設置為固定型或旋轉型。