[實(shí)用新型]鍍銀反射鏡無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920067573.0 | 申請(qǐng)日： | 2009-02-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201344978Y | 公開(kāi)（公告）日： | 2009-11-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 范濱;唐健 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 光馳科技(上海)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G02B5/08 | 分類(lèi)號(hào)： | G02B5/08 |
| 代理公司： | 上海申匯專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人： | 林 煒 |
| 地址： | 200436上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鍍銀 反射 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)，特別是涉及一種在投影機(jī)，照相機(jī)，顯微鏡，望遠(yuǎn)鏡，復(fù)印機(jī)，聚光型太陽(yáng)電池等光電機(jī)器上使用的反射鏡技術(shù)，更具體的說(shuō)是針對(duì)有銀層的高反射銀鏡的耐環(huán)境性能的改良技術(shù)。
背景技術(shù)
Ag膜作為一種高反射率的反射鏡，在照相機(jī)，復(fù)印機(jī)，顯微鏡，打印機(jī)，放映機(jī)，聚光型太陽(yáng)電池等各種光學(xué)機(jī)器中被廣泛地使用。然而，用于投影機(jī)中、聚光型太陽(yáng)能電池上的銀反射鏡，必須在高溫等惡劣條件下長(zhǎng)時(shí)間使用；在梅雨季節(jié)，則必須長(zhǎng)時(shí)間暴露在高濕度的狀態(tài)下。因此，廣泛需求一種擁有耐高溫高濕的，耐環(huán)境特性出色的Ag反射鏡產(chǎn)品。
作為具體的例子，例如，長(zhǎng)時(shí)間在高溫高濕的環(huán)境下使用，反射層的Ag膜層和其上下膜層間不能發(fā)生剝離，浮起，或破裂等的缺陷；而且Ag膜層不能因?yàn)樽陨淼难趸纫鸱瓷渎式档?。為了得到這樣耐久性出色的銀鏡，人們提出了各種各樣的解決方案。例如，日本特開(kāi)平2003-4919號(hào)公報(bào)公布的名稱(chēng)為：高反射鏡的專(zhuān)利文獻(xiàn)1和日本特開(kāi)平07-281013號(hào)公報(bào)公布的名稱(chēng)為：反射鏡的專(zhuān)利文獻(xiàn)2，提出了以下的銀反射鏡：
專(zhuān)利文獻(xiàn)1提出了由基板，Al2O3膜層，Ag膜層，Al2O3和TiO2膜層構(gòu)成的Ag反射鏡膜系結(jié)構(gòu)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1的銀鏡構(gòu)造主要是提高基板和Ag膜層間的附著力，也提高銀鏡的耐腐蝕性。
專(zhuān)利文獻(xiàn)2，在作為緩沖層的SiO2膜層或Al2O3膜層與Ag膜層之間，又增加了由Cr或Ni金屬膜層構(gòu)成的緩沖層，以提高基板和Ag膜層之間的附著力。
但是專(zhuān)利文獻(xiàn)1中的銀鏡，Ag膜層的附著力還不充分，象投影機(jī)用的反射鏡、聚光型太陽(yáng)能電池的反射鏡的器件，由于長(zhǎng)時(shí)間在高溫高濕的環(huán)境下使用，Ag膜層會(huì)逐漸氧化發(fā)霧，造成反射率降低。
另外在Al2O3膜層和TiO2膜層之間，會(huì)逐漸擴(kuò)散結(jié)晶，出現(xiàn)發(fā)霧現(xiàn)象，從而造成銀反射鏡的反射率降低。
為解決上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中的問(wèn)題，專(zhuān)利文獻(xiàn)2是為提高基板和Ag膜層間的附著力，在緩沖層SiO2膜層或Al2O3膜層與Ag膜層之間又增加了由Cr和Ni金屬膜層作為粘結(jié)層。但這又會(huì)出現(xiàn)以下問(wèn)題：
在用Cr膜層作為粘結(jié)層時(shí)，Ag膜層與基板的附著力得以提高，但是在高溫下，如在100℃以上使用的時(shí)，Ag膜層的反射面會(huì)逐漸發(fā)黑，耐環(huán)境特性比用Ni膜層作粘結(jié)層差。反過(guò)來(lái)若用Ni膜層作粘結(jié)層，雖然可以提高耐環(huán)境特性，但是對(duì)下層的附著力與使用Cr膜層相比又差了。
實(shí)用新型內(nèi)容
針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能提高Ag膜的附著力，又能防止Al2O3膜層和TiO2膜層之間擴(kuò)散發(fā)霧，具有耐環(huán)境腐蝕性能的鍍銀反射鏡。
為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所提供的一種鍍銀反射鏡，其特征在于，包括基板、在所述基板上沉積的下緩沖層、在所述下緩沖層上沉積的Ni-Cr合金層(金屬膜層)、在所述Ni-Cr合金層上沉積的Ag膜層、在所述Ag膜層上沉積的Al2O3膜層、在所述Al2O3膜層上面沉積的SiO2膜層，在所述SiO2膜層上沉積的TiO2膜層(增反射膜層)。
進(jìn)一步的，所述下緩沖層為Al2O3膜層。
進(jìn)一步的，所述下緩沖層為介質(zhì)膜層和Al2O3膜層，其中介質(zhì)膜層沉積于基板上。
進(jìn)一步的，所述介質(zhì)膜層為SiO2、TiO2膜層或SiO膜層等。
進(jìn)一步的，所述Ni-Cr合金層中Cr合金的比率在1％～20％之間。
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