[實(shí)用新型]硅片鼓泡清洗裝置無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920049115.4 | 申請(qǐng)日： | 2009-10-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201529636U | 公開（公告）日： | 2010-07-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蘇世杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 無錫尚德太陽能電力有限公司;洛陽尚德太陽能電力有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/10 | 分類號(hào)： | B08B3/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214028 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅片 清洗 裝置 | ||
1.一種硅片鼓泡清洗裝置，包括設(shè)置在清洗槽(1)槽底的通氣管(2)，在通氣管(2)上開設(shè)有多個(gè)出氣孔(3)，在通氣管(2)上連接有進(jìn)氣管(4)，其特征是：所述通氣管(2)呈“口”字形設(shè)置。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征是：所述多個(gè)出氣孔(3)均勻分布在通氣管(2)上。
3.如權(quán)利要求1所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征是：所述出氣孔(3)的直徑為0.3～1.0mm。
4.如權(quán)利要求3所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征是：所述出氣孔(3)的直徑為0.4mm。
5.如權(quán)利要求1或2所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征是：相鄰兩個(gè)出氣孔(3)之間的距離為15～25mm。
6.如權(quán)利要求5所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征是：相鄰兩個(gè)出氣孔(3)之間的距離為20mm。
7.如權(quán)利要求1所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征是：所述通氣管(2)的直徑為3.1～3.3mm。
8.如權(quán)利要求7所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征是：所述通氣管(2)的直徑為3.175mm。
9.如權(quán)利要求1所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征是：在通氣管(2)上方的清洗槽(1)內(nèi)壁橫向固定架設(shè)有托板(5)，所述托板(5)的側(cè)邊向上翹起。
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