[實用新型]硅片夾持器

無效

• 申請號: 200920045486.5
• 申請日: 2009-05-19
• 公開（公告）號: CN201450000U
• 公開（公告）日: 2010-05-05
• 發明（設計）人: 周永清
• 申請（專利權）人: 宜興市鼎科電子電力器材廠
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 無錫華源專利事務所 32228
• 代理人: 方為強

技術領域

本實用新型涉及一種手動夾持工具，尤其是涉及一種用于夾持清洗或拋光后的硅片的夾持器。

背景技術

硅片是制造大規模集成電路的主要材料，在生產過程中通常需要經過拋光、清洗等工藝過程制造成集成電路級半導體硅片。在拋光和清洗工藝完成后，通常直接用手取出硅片，此時用手取出經過拋光或清洗的硅片，會引起硅片邊緣及表面劃傷或再次污染，從而嚴重地影響產品的合格率，造成原材料的浪費，大大地提高制造成本。

實用新型內容

本申請人針對上述的問題，進行了研究改進，提供一種結構簡單、操作方便的硅片夾持器，減少對經拋光或清洗的硅片的表面劃傷或污染，提高產品的合格率，減少原材料的浪費，降低制造成本。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用如下的技術方案：

一種硅片夾持器，包括操作部及夾持部，所述操作部包括兩個上端鉸接在一起的弧形操作臂，操作臂上部分別設有操作手柄，操作臂的下端連接夾持部，兩個操作臂上部的內側連接有拉簧；所述夾持部為呈V形的夾持桿，夾持桿上設有容片槽。

進一步的：

所述容片槽的橫截面呈V形。

所述V形容片槽的角度為45°～90°。

所述V形夾持桿的夾角為90°～130°。

本實用新型的技術效果在于：

本實用新型公開的一種硅片夾持器，結構簡單，操作方便，夾持可靠，由于采用V形的夾持部及V形的容片槽，與硅片的接觸面積小，減小對經拋光或清洗的硅片表面劃傷或污染的可能，提高產品的合格率，減少原材料的浪費，降低制造成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的三維結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細的說明。

如圖1所示，本實用新型包括操作部1及夾持部2，操作部1包括兩個操作臂101，兩個操作臂101呈弧形，兩個操作臂101的上端通過銷軸103鉸接在一起，操作臂101上部分別設有操作手柄102，操作臂101的下端連接夾持部2，兩個操作臂101上部的內側連接有拉簧104，操作時由拉簧104的彈力來夾持硅片.夾持部2為呈V形的夾持桿201，夾持桿201上設有容片槽202，V形夾持桿201的夾角A的最佳實施范圍在90°～130°之間，本實施例中該夾角A為120°，容片槽202的橫截面可以是矩形、弧形或其他形狀，在本實施例中，容片槽202的橫截面呈V形，V形容片槽202的角度B為60°，V形容片槽202的角度B的最佳實施范圍在45°～90°之間.

使用本實用新型夾持硅片時，用手握緊操作手柄102，使夾持部2張開，將容片槽202對準硅片的邊緣，放松操作手柄102，由拉簧104的彈力作用使夾持部2夾持住硅片的兩側邊緣，提起操作手柄102即可取出硅片，移到相應的位置，再次握緊操作手柄102，即可放開所取的硅片。