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[實用新型]用于真空線源蒸發鍍膜設備的加熱裝置有效

專利信息
申請號: 200920045334.5 申請日: 2009-05-15
公開(公告)號: CN201406463Y 公開(公告)日: 2010-02-17
發明(設計)人: 廖良生;李述湯 申請(專利權)人: 蘇州大學
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24
代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 代理人: 陶海鋒
地址: 215123江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 真空 蒸發 鍍膜 設備 加熱 裝置
【權利要求書】:

1.一種用于真空線源蒸發鍍膜設備的加熱裝置,包括蒸鍍容器(1)和加熱器(2),其特征在于:所述加熱器(2)的中心部位設有至少一個長條狀加熱片(4);所述蒸鍍容器的底部向上凸起形成與所述長條狀加熱片(4)配合的導熱槽(3)。

2.根據權利要求1所述的用于真空線源蒸發鍍膜設備的加熱裝置,其特征在于:所述長條狀加熱片(4)為2個,且并聯連接,形成口字形。

3.根據權利要求1所述的用于真空線源蒸發鍍膜設備的加熱裝置,其特征在于:所述長條狀加熱片(4)為3個,且并聯連接,形成日字形。

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