[實用新型]勻膠機基片的固定裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920045252.0
• 申請日: 2009-05-22
• 公開（公告）號: CN201410458Y
• 公開（公告）日: 2010-02-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉立安
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫華測電子系統(tǒng)有限公司
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02
• 代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 曹祖良

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型是關(guān)于一種基片固定裝置，尤其是指用于薄膜工藝設(shè)備勻膠機的基片固定裝置。

背景技術(shù)

隨著薄膜工藝技術(shù)的迅速發(fā)展，旋轉(zhuǎn)涂覆式勻膠機的應(yīng)用日趨廣泛，作旋轉(zhuǎn)勻膠的基片的類型也陳出不窮。通?；峭ㄟ^帶有真空吸附通孔的圓形平盤式基片固定裝置實現(xiàn)與電機的同步高速旋轉(zhuǎn)。但對于帶有通孔的方形基片，則無法采用真空吸附方式固定基片。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型所欲解決的技術(shù)問題是提供一種基片固定裝置，以解決帶有通孔的基片旋轉(zhuǎn)勻膠時在勻膠機上的固定問題。

按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述勻膠機基片的固定裝置，包括承片平臺，其特征是：在承片平臺的上表面設(shè)置用于承接工件的盤面，在承片平臺的邊緣設(shè)置數(shù)個用于定位工件的定位卡，所述定位卡的定位端指向承片平臺的中心，所述定位端呈錐形，并且，所述定位端位于盤面的一側(cè)。

在所述承片平臺的下表面設(shè)置數(shù)個定位槽，所述定位卡被一一對應(yīng)地定位于所述定位槽內(nèi)；定位槽的走向指向承片平臺的中心。所述定位卡上有定位座，所述定位端位于所述定位座的上面。所述定位座呈長條狀；并且，所述定位端的長軸與所述定位座的長軸方向一致。所述定位端的端部的正投影面呈銳角三角形，所述銳角小于30度。

所述定位卡與所述承片平臺利用螺紋件相互連接。所述定位卡有均勻分布的4個。在承片平臺的下表面設(shè)置向下突出的環(huán)形體，所述環(huán)形體的中軸線與盤面的中軸線重合。

勻膠機馬達軸心設(shè)有真空管道，將承片平臺下面的環(huán)形體與勻膠機馬達軸相扣并真空吸附，本實用新型將帶有通孔的基片(即所述工件)固定，再同時配合勻膠機的馬達旋轉(zhuǎn)，帶動基片高速旋轉(zhuǎn)，從而達到將光刻膠旋轉(zhuǎn)涂覆于基片表面的目的。

本實用新型所能達到的技術(shù)效果是，采用本實用新型的固定裝置，可以將含有通孔的基片直接采用旋轉(zhuǎn)方式涂覆光刻膠。

附圖說明

圖1是承片平臺的俯視示意圖。

圖2是承片平臺的仰視示意圖。

圖3是擋卡的示意圖。

圖4是承片平臺與擋卡的組合示意圖。

具體實施方式

所述勻膠機基片的固定裝置，包括承片平臺1，其特征是：在承片平臺1的上表面設(shè)置用于承接工件的盤面3，在承片平臺1的邊緣設(shè)置四個用于定位工件的定位卡9，所述定位卡9的定位端7指向承片平臺1的中心，所述定位端7呈錐形，并且，所述定位端7位于盤面3的一側(cè)。

在所述承片平臺1的下表面設(shè)置四個定位槽2，所述定位卡9被一一對應(yīng)地定位于所述定位槽2內(nèi)；定位槽2的走向指向承片平臺1的中心。

所述定位卡9上有定位座6，所述定位端7位于所述定位座6的上面。所述定位座6呈長條狀；并且，所述定位端7的長軸與所述定位座6的長軸方向一致。所述定位端7的端部的正投影面呈銳角三角形，所述銳角小于30度。

所述定位卡9與所述承片平臺1利用螺紋件相互連接。所述定位卡有均勻分布的4個。在承片平臺1的下表面設(shè)置向下突出的環(huán)形體4，所述環(huán)形體4的中軸線與盤面3的中軸線重合。

安裝時，承片平臺1和定位卡9需要固定在一起，所述承片平臺1和定位卡9可以采用螺釘連接。所述的帶有通孔的基片放置在承片平臺1上表面的圓形盤面3上，并由設(shè)置在承片平臺1四周的定位卡9固定，使帶有通孔的基片不能前后左右的滑動。承片平臺1與勻膠機之間的固定是通過其下方的環(huán)形體4與勻膠機的馬達軸相扣。

本實用新型的工作原理如下：當(dāng)勻膠機開始工作時，真空會通過馬達軸心的管道將承片平臺1固定，馬達帶動承片平臺1同步旋轉(zhuǎn)，進而帶動承片平臺1上的基片同步旋轉(zhuǎn)。光刻膠從上方滴落于基片中心處，在離心力的作用下平鋪于基片表面。

圖中的5與8分別為安裝螺栓的孔。