[實用新型]一種改良的非接觸式位移傳感器無效
| 申請號: | 200920041808.9 | 申請日: | 2009-03-24 |
| 公開(公告)號: | CN201397126Y | 公開(公告)日: | 2010-02-03 |
| 發明(設計)人: | 王磊 | 申請(專利權)人: | 無錫市納微電子有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/02 | 分類號: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) | 代理人: | 顧吉云 |
| 地址: | 214028*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 改良 接觸 位移 傳感器 | ||
1、一種改良的非接觸式位移傳感器,其包括基板、外圍電路,其特征在于:所述基板上安裝有均勻排布的巨磁電阻元件陣列,所述軌道結陣列上方安裝有與巨磁電阻元件陣列平行的軌道,所述軌道上安裝有激光光源,所述基板連接外圍電路,所述巨磁電阻元件通過基板連接所述外圍線路。
2、根據權利要求1所述一種改良的非接觸式位移傳感器,其特征在于:所述巨磁電阻元件具體為隧道結。
3、根據權利要求2所述一種改良的非接觸式位移傳感器,其特征在于:所述軌道上安裝有滑塊,所述激光光源安裝于所述滑塊。
4、根據權利要求3所述的使用非接觸式位移測量方法的非接觸式位移傳感器,其特征在于:所述激光光源具體為波長較短的光源。
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