[實用新型]防橫桿熱變形的基片架

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920037428.8
• 申請日: 2009-02-13
• 公開（公告）號: CN201343498Y
• 公開（公告）日: 2009-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馮新偉
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇津通先鋒光電顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00;C23C14/34
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所
• 代理人: 王凌霄

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種防橫桿熱變形的基片架，具體用于導(dǎo)電玻璃進行表面鍍膜時對玻璃基片的夾持。

背景技術(shù)

導(dǎo)電玻璃通過磁控濺射鍍膜儀鍍膜時，尤其是鍍ITO陶瓷靶時，真空室必須加熱到400℃左右，橫桿等用鋁合金或鈦制成，在加熱后會發(fā)生熱膨脹，經(jīng)計算，長1500mm左右的橫桿在400℃左右溫度下，長度方向?qū)⑸扉L約12mm。在生產(chǎn)過程中，橫桿兩端由于緊固后，橫桿加熱時長度方向無法自由伸長，伸長的橫桿必然造成橫桿中間向外側(cè)弓曲變形。由于橫桿弓曲變形，基片架在傳輸過程中，橫桿與真空室內(nèi)的加熱器、隔熱屏，隔離門閥框等發(fā)生刮擦，造成鍍膜時基片速度不均勻，薄膜膜厚與ITO方塊電阻值發(fā)生微量不均勻，合格率受到較大影響。嚴(yán)重時基片架還會卡在真空室內(nèi)，造成全線停產(chǎn)停機處理，并造成大量的廢品。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：為了解決由于在真空室加熱時橫桿容易弓曲變形，導(dǎo)致導(dǎo)電玻璃鍍膜時基片速度不均勻，合格率受到較大影響，甚至造成大量廢品的問題，本實用新型提供了一種防橫桿熱變形的基片架。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種防橫桿熱變形的基片架，用于導(dǎo)電玻璃進行表面鍍膜時對玻璃基片的夾持，具有基片架豎框和橫桿，其特征是：還具有帶螺紋孔的橫桿固定塊和配套的螺栓，橫桿兩端分別設(shè)有長腰形孔，橫桿固定塊可活動地安裝在長腰形孔內(nèi)，橫桿兩端通過橫桿固定塊和配套的螺栓固定在基片架豎框上。

進一步地，橫桿固定塊具有大端和小端，小端可活動地安裝在長腰形孔內(nèi)，小端寬度為7mm，長腰形孔的長度最小為14mm。即橫桿固定塊與長腰形孔之間留有最少7mm的空間，加熱后可保證橫桿總伸長最少14mm。

本實用新型的有益效果是；該基片架的橫桿固定后，橫桿固定塊與長腰形孔之間留有最少7mm的空間，加熱后橫桿可伸長至少14mm左右，鍍膜時玻璃基片運行速度均勻，合格率提升5％左右，廢損率下降0.35％左右，產(chǎn)能提高9.35％。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的俯視圖。

其中：1.基片架豎框，2.橫桿，3.橫桿固定塊，4.螺栓，5.長腰形孔。

具體實施方式

如圖1、2所示，一種防橫桿熱變形的基片架，用于導(dǎo)電玻璃進行表面鍍膜時對玻璃基片的夾持，具有基片架豎框1和橫桿2，還具有帶螺紋孔的橫桿固定塊3和配套的螺栓4，橫桿2兩端分別設(shè)有長腰形孔5，橫桿固定塊3具有大端和小端，小端可活動地安裝在長腰形孔5內(nèi)，橫桿2兩端通過橫桿固定塊3和配套的螺栓4固定在基片架豎框1上，固定后，橫桿固定塊3的大端蓋在橫桿2的長腰形孔5上，比橫桿2高出1mm，同時，小端寬度為7mm，長腰形孔5的寬度為8mm，長腰形孔5的長度最小為14mm，即橫桿固定塊3與長腰形孔5之間留有最少7mm的空間，加熱后可保證橫桿2總伸長最少14mm。經(jīng)過這樣的改進后，導(dǎo)電玻璃基片鍍膜時運行速度均勻，均勻性得到保證，合格率提高了5％左右，廢損率下降0.35％左右，產(chǎn)能提高9.35％。