[實用新型]一種暗視場照明物鏡裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920036731.6
• 申請日: 2009-02-24
• 公開（公告）號: CN201355404Y
• 公開（公告）日: 2009-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙躍東
• 申請（專利權(quán)）人: 南京東利來光電實業(yè)有限責任公司
• 主分類號: G02B21/10
• 分類號: G02B21/10;G02B3/00
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司
• 代理人: 查俊奎

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型所涉及一種對觀察對象進行暗視場照明，利用物體的散射和衍射光進行觀測的暗視場顯微鏡中所用的暗視場物鏡裝置。

背景技術(shù)

在檢查集成電路(IC)圖樣、液晶用玻璃的表面劃傷及灰塵時，利用暗視場照明更加有利，故通常在暗視場照明下觀察。與沿光軸方向照射被觀察對象的明視場照明不同，暗視場照明是從側(cè)面和傾斜方向?qū)⒄彰鞴馔渡涞奖挥^察對象上，物鏡接收并觀察被觀察對象的衍射和散射光。

目前暗視場照明用的物鏡存在以下問題。在顯微鏡的光學系統(tǒng)之外還需要另外設(shè)立一個照明裝置，照明裝置包括光源和將光源所發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為平行光的準直用光學原件。

JP特開平7-281098專利公開的暗視場觀察用物鏡的鏡筒由夾持成像用的透鏡組的內(nèi)筒和將暗視場照明用平行光導光用的中空外筒兩部分組成。為了傳播暗視場照明光，通常有由內(nèi)、外筒組成的環(huán)形空間。為了固定外筒，在內(nèi)筒和外筒之間至少要有三個連接臂，這三個連接臂將在照明光路中檔光，減少觀察上的照射光亮。為了克服其影響需要另外的光學零件。

為了使照明光不直接進入成像物鏡，需要在照明光路中圓形濾光片，這也將減少暗視場觀察區(qū)域所接收到的光亮。

暗視場用的物鏡由于需要設(shè)有暗視場照明用的導光用外筒，其鏡筒的外徑比明視場物鏡的鏡筒粗。無法直接安裝到明視場顯微鏡的物鏡轉(zhuǎn)換器上。無法用明視場顯微鏡進行暗視場觀察。同樣，明暗視場觀察用物鏡對于暗視場顯微鏡的轉(zhuǎn)換器來說直徑過小，安裝的話需要另外的過渡接口。

JP特開2000-121949專利所提技術(shù)方案是用LED直接照明被觀測對象，這與暗視場照明是一樣的。并非將子午面內(nèi)的光轉(zhuǎn)換為平行光后照射被觀察對象，所以對于以觀察被觀察對象的衍射光與散射光為主的暗視場觀測并不很合適。

JP特開2006-039418專利雖然也適用了LED照明，但由于是直接將LED所發(fā)出的光作為平行光導入照明相機或顯微鏡內(nèi)筒的外側(cè)，故存在與原有暗視場照明用物鏡鏡筒同樣的問題。另外，由于照相機設(shè)置在鏡筒內(nèi)，無法用同一個物鏡明視場與暗視場并用，也無法將不同放大倍率的物鏡安裝在同一顯微鏡上用不同的放大倍率觀察。

JP特開2001-154103專利所提的方案中，暗視場照明用的環(huán)形LED照明裝置獨立于物鏡鏡筒的，但該方案中并沒有提及如何將子午面內(nèi)的光線變成平行光照射到觀察對象上。由于光源是設(shè)立在顯微鏡內(nèi)，也沒有考慮到不同倍率物鏡及光源焦距的變化。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種為觀察對象提供足夠充分的照射光通量，實現(xiàn)暗視場照明，并且可以直接安裝在明視場顯微鏡的轉(zhuǎn)換器上的暗視場照明物鏡裝置。

本實用新型的暗視場照明物鏡裝置，包括同軸的內(nèi)外筒、設(shè)置在內(nèi)筒內(nèi)的成像用透鏡組，在內(nèi)外筒之間設(shè)有排列成環(huán)狀的照明裝置；在照明裝置與被觀察對象之間設(shè)有在子午面內(nèi)將照明裝置發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為平行光而傾斜照射到被觀察對象上的光學元件；內(nèi)筒端部外周設(shè)置有用于直接安裝到明視場顯微鏡的轉(zhuǎn)換盤上的螺紋。

本實用新型中物鏡的成像用透鏡組安裝在內(nèi)筒內(nèi)。在外筒的外側(cè)設(shè)有排列成環(huán)狀的照明裝置(如以LED原件作為光源的LED照明裝置)。在光源(如LED原件)與被觀察對象之間設(shè)有在子午面內(nèi)將光源發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為平行光、傾斜照射到被觀察對象上的光學元件。光源發(fā)出的光在子午面內(nèi)被轉(zhuǎn)換為平行光照射到被觀察對象上。被觀察對象散射或衍射的光經(jīng)成像物鏡成像后由目鏡觀察或用攝影裝置拍攝后進行圖象處理。該暗視場物鏡裝置內(nèi)筒端部外周有螺紋，可以直接安裝到明視場顯微鏡的轉(zhuǎn)換盤上。所以，明視場顯微鏡可以直接轉(zhuǎn)用為暗視場觀察用。

作為改進，它還包括設(shè)置在內(nèi)外筒之間的用于向照明裝置供電的環(huán)狀電池。這即是內(nèi)置電源的暗視場照明物鏡裝置。當然，該暗視場照明物鏡裝置中的照明裝置也可使用外部電源供電。當使用外部電源時，最好它還包括用于向照明裝置供電的360度旋轉(zhuǎn)電源接口外部導入系統(tǒng)。該360度旋轉(zhuǎn)電源接口外部導入系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)可以有多種多樣，如它還包括設(shè)有正、負極環(huán)形導電薄膜的線路板；照明裝置的正負極與正、負極環(huán)形導電薄膜連接；線路板可轉(zhuǎn)動的套裝在暗視場照明物鏡裝置上；線路板上有與正、負極環(huán)形導電薄膜相連的外部電源插座。它還包括與外部電源連接以向照明裝置供電的電源插座。外部電源導入系統(tǒng)的接口為360度旋轉(zhuǎn)裝置，任何方位都可以接電源，使用方便；如果使用內(nèi)置環(huán)狀電池的話，僅將暗視場觀察物鏡的鏡筒安裝到顯微鏡上即可實現(xiàn)暗視場照明，操作非常簡單，不需要為照明用電源配備電線。將該電池作為二次電池，在鏡筒的外筒上設(shè)置充電用插孔，通過充電即可長期使用。