[實(shí)用新型]高靈敏度雨量傳感器無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920036143.2 | 申請(qǐng)日： | 2009-03-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201387334Y | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-01-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 顧興蓮;秦明;余輝洋 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01D5/241 | 分類號(hào)： | G01D5/241;B81B7/02;B81C5/00 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人： | 葉連生 |
| 地址： | 211109江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 靈敏度 雨量 傳感器 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種高靈敏度雨量傳感器，其特征在于該傳感器采用單晶硅膜(1)作為敏感材料，采用絕緣材料玻璃或陶瓷(3)作為絕緣襯底，用高摻雜的硅質(zhì)量塊(6)的下表面作為電容上電極，在硅質(zhì)量塊(6)的上表面是一層氧化硅(4)，絕緣襯底上濺射的金屬(2)作為電容的下電極，上下電極圖形一致，由多個(gè)單元形成一個(gè)2×2以上的二維陣列，且單元并聯(lián)在一起，襯底與硅質(zhì)量塊(6)用導(dǎo)電膠(5)進(jìn)行組裝，器件制作完成之后，進(jìn)行引線鍵合，然后在傳感器上表面均勻涂敷一層硅橡膠。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度雨量傳感器，其特征在于采用單晶硅膜(1)作為敏感部分，同時(shí)作為電容的一個(gè)電極，且該電極在絕緣襯底上直接引出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高靈敏度雨量傳感器，其特征在于電容陣列單元中敏感膜都帶有硅質(zhì)量塊(6)。
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于東南大學(xué)，未經(jīng)東南大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200920036143.2/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
G01 測(cè)量；測(cè)試
G01D 非專用于特定變量的測(cè)量；不包含在其他單獨(dú)小類中的測(cè)量?jī)蓚€(gè)或多個(gè)變量的裝置；計(jì)費(fèi)設(shè)備；非專用于特定變量的傳輸或轉(zhuǎn)換裝置；未列入其他類目的測(cè)量或測(cè)試
G01D5-00 用于傳遞傳感構(gòu)件的輸出的機(jī)械裝置；將傳感構(gòu)件的輸出變換成不同變量的裝置，其中傳感構(gòu)件的形式和特性不限制變換裝置；非專用于特定變量的變換器
G01D5-02 .采用機(jī)械裝置
G01D5-12 .采用電或磁裝置
G01D5-26 .采用光學(xué)裝置，即應(yīng)用紅外光、可見(jiàn)光或紫外光
G01D5-42 .采用流體裝置
G01D5-48 .采用波或粒子輻射裝置
G01D 非專用于特定變量的測(cè)量；不包含在其他單獨(dú)小類中的測(cè)量?jī)蓚€(gè)或多個(gè)變量的裝置；計(jì)費(fèi)設(shè)備；非專用于特定變量的傳輸或轉(zhuǎn)換裝置；未列入其他類目的測(cè)量或測(cè)試
G01D5-00 用于傳遞傳感構(gòu)件的輸出的機(jī)械裝置；將傳感構(gòu)件的輸出變換成不同變量的裝置，其中傳感構(gòu)件的形式和特性不限制變換裝置；非專用于特定變量的變換器
G01D5-02 .采用機(jī)械裝置
G01D5-12 .采用電或磁裝置
G01D5-26 .采用光學(xué)裝置，即應(yīng)用紅外光、可見(jiàn)光或紫外光
G01D5-42 .采用流體裝置
G01D5-48 .采用波或粒子輻射裝置
