[實用新型]可變陶瓷真空電容器結構改良

無效

• 申請號: 200920035689.6
• 申請日: 2009-03-16
• 公開（公告）號: CN201374254Y
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: 尹劍平;黃浩;黃清河;張立云;方濤;賴萍南;王淮飛
• 申請（專利權）人: 昆山國力真空電器有限公司
• 主分類號: H01G5/16
• 分類號: H01G5/16
• 代理公司: 昆山四方專利事務所
• 代理人: 盛建德

技術領域

本實用新型涉及一種可變陶瓷真空電容器，特別涉及一種可變陶瓷真空電容器結構改良。

背景技術

目前，根據國家標準GB/T?3788-1995的要求，可變陶瓷真空電容器的機械壽命為五千至兩萬次。此標準適用于廣播發射與高頻加熱設備中可變陶瓷真空電容器的壽命要求。隨著科學技術的進步，目前可變陶瓷真空電容器已經大量應用于半導體加工設備，對可變陶瓷真空電容器的機械壽命提出了更高的要求，此要求是現有的通用結構無法滿足的。

發明內容

為了彌補以上不足，本實用新型提供了一種可變陶瓷真空電容器結構改良，使可變陶瓷真空電容器的機械壽命大大提高，從而降低了半導體加工設備的使用成本。

本實用新型為了解決其技術問題所采用的技術方案是：一種可變陶瓷真空電容器結構改良，可變陶瓷真空電容器包括套筒、調節螺桿、調節螺母、拉桿、定位導套、波紋管、電極和外殼，調節螺桿一端與傳動件固連，另一端與調節螺母自由嚙合，調節螺母與拉桿一端固連，拉桿另一端與電極一端固連，拉桿外側套設有定位導套，定位導套一端與外殼內壁固連，定位導套外側套設有波紋管，套筒套設于調節螺桿和調節螺母外側并與外殼固連，調節螺桿在傳動件帶動下正反交替旋轉，調節螺桿的旋轉則帶動調節螺母上下做直線運動，調節螺母則通過帶動拉桿上下運動而帶動電極上下作直線運動，從而調節可變陶瓷真空電容器的電容，定位導套、套筒和拉桿上分別設有至少一個氣孔，當拉桿帶動電極上下直線運動時，由于摩擦會產生熱量，氣孔可將熱量排出，防止拉桿與定位導套因摩擦產生的熱量影響材料表面從而導致滑動不順暢。

作為本實用新型的進一步改進，定位導套與拉桿之間及調節螺桿與調節螺母之間設有耐高溫耐磨損的潤滑油脂，可有效防止零件在反復的機械運動中卡死，使運動更加順暢。

作為本實用新型的進一步改進，調節螺母采用耐磨材料，調節螺桿和拉桿表面進行耐磨處理，耐磨處理方法有很多，都是此領域普通工程技術人員所熟知的，比如采用氣相沉積方法在零件表面涂覆一層耐磨物質，使表面堅硬且光滑平整。

作為本實用新型的進一步改進，波紋管單波位移量提高到1.8mm，有效提高了波紋管的密封性。

本實用新型的有益技術效果是：本實用新型在不改變產品安裝尺寸的情況下，使可變陶瓷真空電容器的機械壽命提高到兩百萬次以上，從而提高了可變陶瓷真空電容器的使用周期，降低半導體加工設備的使用成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的內部結構示意圖。

具體實施方式

實施例：一種可變陶瓷真空電容器結構改良，可變陶瓷真空電容器包括套筒1、調節螺桿2、調節螺母3、拉桿4、定位導套5、波紋管6、電極7和外殼8，調節螺桿2一端與傳動件固連，另一端與調節螺母3自由嚙合，調節螺母3與拉桿4一端固連，拉桿4另一端與電極7一端固連，拉桿4外側套設有定位導套5，定位導套5一端與外殼8內壁固連，定位導套5外側套設有波紋管6，套筒1套設于調節螺桿2和調節螺母3外側并與外殼8固連，調節螺桿2在傳動件帶動下正反交替旋轉，調節螺桿2的旋轉則帶動調節螺母3上下做直線運動，調節螺母3則通過帶動拉桿4上下運動而帶動電極7上下作直線運動，從而調節可變陶瓷真空電容器的電容，定位導套5、套筒1和拉桿4上分別設有至少一個氣孔9，當拉桿4帶動電極7上下直線運動時，由于摩擦會產生熱量，氣孔9可將熱量排出，防止拉桿4與定位導套5因摩擦產生的熱量影響材料表面從而導致滑動不順暢。

所述定位導套5與拉桿4之間及調節螺桿2與調節螺母3之間設有耐高溫耐磨損的潤滑油脂，可有效防止零件在反復的機械運動中卡死，使運動更加順暢。

所述調節螺母3采用耐磨材料，調節螺桿2和拉桿4表面進行耐磨處理，耐磨處理方法有很多，都是此領域普通工程技術人員所熟知的，比如采用氣相沉積方法在零件表面涂覆一層耐磨物質，使表面堅硬且光滑平整。

所述波紋管6單波位移量提高到1.8mm，有效提高了波紋管的密封性。