[實用新型]可變陶瓷真空電容器結構改良

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920035689.6
• 申請日: 2009-03-16
• 公開（公告）號: CN201374254Y
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發(fā)明（設計）人: 尹劍平;黃浩;黃清河;張立云;方濤;賴萍南;王淮飛
• 申請（專利權）人: 昆山國力真空電器有限公司
• 主分類號: H01G5/16
• 分類號: H01G5/16
• 代理公司: 昆山四方專利事務所
• 代理人: 盛建德

技術領域

本實用新型涉及一種可變陶瓷真空電容器，特別涉及一種可變陶瓷真空電容器結構改良。

背景技術

目前，根據(jù)國家標準GB/T?3788-1995的要求，可變陶瓷真空電容器的機械壽命為五千至兩萬次。此標準適用于廣播發(fā)射與高頻加熱設備中可變陶瓷真空電容器的壽命要求。隨著科學技術的進步，目前可變陶瓷真空電容器已經(jīng)大量應用于半導體加工設備，對可變陶瓷真空電容器的機械壽命提出了更高的要求，此要求是現(xiàn)有的通用結構無法滿足的。

發(fā)明內(nèi)容

為了彌補以上不足，本實用新型提供了一種可變陶瓷真空電容器結構改良，使可變陶瓷真空電容器的機械壽命大大提高，從而降低了半導體加工設備的使用成本。

本實用新型為了解決其技術問題所采用的技術方案是：一種可變陶瓷真空電容器結構改良，可變陶瓷真空電容器包括套筒、調(diào)節(jié)螺桿、調(diào)節(jié)螺母、拉桿、定位導套、波紋管、電極和外殼，調(diào)節(jié)螺桿一端與傳動件固連，另一端與調(diào)節(jié)螺母自由嚙合，調(diào)節(jié)螺母與拉桿一端固連，拉桿另一端與電極一端固連，拉桿外側套設有定位導套，定位導套一端與外殼內(nèi)壁固連，定位導套外側套設有波紋管，套筒套設于調(diào)節(jié)螺桿和調(diào)節(jié)螺母外側并與外殼固連，調(diào)節(jié)螺桿在傳動件帶動下正反交替旋轉，調(diào)節(jié)螺桿的旋轉則帶動調(diào)節(jié)螺母上下做直線運動，調(diào)節(jié)螺母則通過帶動拉桿上下運動而帶動電極上下作直線運動，從而調(diào)節(jié)可變陶瓷真空電容器的電容，定位導套、套筒和拉桿上分別設有至少一個氣孔，當拉桿帶動電極上下直線運動時，由于摩擦會產(chǎn)生熱量，氣孔可將熱量排出，防止拉桿與定位導套因摩擦產(chǎn)生的熱量影響材料表面從而導致滑動不順暢。

作為本實用新型的進一步改進，定位導套與拉桿之間及調(diào)節(jié)螺桿與調(diào)節(jié)螺母之間設有耐高溫耐磨損的潤滑油脂，可有效防止零件在反復的機械運動中卡死，使運動更加順暢。

作為本實用新型的進一步改進，調(diào)節(jié)螺母采用耐磨材料，調(diào)節(jié)螺桿和拉桿表面進行耐磨處理，耐磨處理方法有很多，都是此領域普通工程技術人員所熟知的，比如采用氣相沉積方法在零件表面涂覆一層耐磨物質，使表面堅硬且光滑平整。

作為本實用新型的進一步改進，波紋管單波位移量提高到1.8mm，有效提高了波紋管的密封性。

本實用新型的有益技術效果是：本實用新型在不改變產(chǎn)品安裝尺寸的情況下，使可變陶瓷真空電容器的機械壽命提高到兩百萬次以上，從而提高了可變陶瓷真空電容器的使用周期，降低半導體加工設備的使用成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的內(nèi)部結構示意圖。

具體實施方式

實施例：一種可變陶瓷真空電容器結構改良，可變陶瓷真空電容器包括套筒1、調(diào)節(jié)螺桿2、調(diào)節(jié)螺母3、拉桿4、定位導套5、波紋管6、電極7和外殼8，調(diào)節(jié)螺桿2一端與傳動件固連，另一端與調(diào)節(jié)螺母3自由嚙合，調(diào)節(jié)螺母3與拉桿4一端固連，拉桿4另一端與電極7一端固連，拉桿4外側套設有定位導套5，定位導套5一端與外殼8內(nèi)壁固連，定位導套5外側套設有波紋管6，套筒1套設于調(diào)節(jié)螺桿2和調(diào)節(jié)螺母3外側并與外殼8固連，調(diào)節(jié)螺桿2在傳動件帶動下正反交替旋轉，調(diào)節(jié)螺桿2的旋轉則帶動調(diào)節(jié)螺母3上下做直線運動，調(diào)節(jié)螺母3則通過帶動拉桿4上下運動而帶動電極7上下作直線運動，從而調(diào)節(jié)可變陶瓷真空電容器的電容，定位導套5、套筒1和拉桿4上分別設有至少一個氣孔9，當拉桿4帶動電極7上下直線運動時，由于摩擦會產(chǎn)生熱量，氣孔9可將熱量排出，防止拉桿4與定位導套5因摩擦產(chǎn)生的熱量影響材料表面從而導致滑動不順暢。

所述定位導套5與拉桿4之間及調(diào)節(jié)螺桿2與調(diào)節(jié)螺母3之間設有耐高溫耐磨損的潤滑油脂，可有效防止零件在反復的機械運動中卡死，使運動更加順暢。

所述調(diào)節(jié)螺母3采用耐磨材料，調(diào)節(jié)螺桿2和拉桿4表面進行耐磨處理，耐磨處理方法有很多，都是此領域普通工程技術人員所熟知的，比如采用氣相沉積方法在零件表面涂覆一層耐磨物質，使表面堅硬且光滑平整。

所述波紋管6單波位移量提高到1.8mm，有效提高了波紋管的密封性。