[實(shí)用新型]一種金屬鹵素曝光燈無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200920035538.0 | 申請(qǐng)日： | 2009-03-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201449984U | 公開(kāi)（公告）日： | 2010-05-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 曹福清 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 通州市亞太顏料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J61/36 | 分類號(hào)： | H01J61/36;H01J61/04;H01J61/12;G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200 | 代理人： | 黃雪蘭 |
| 地址： | 226300 江*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 金屬 鹵素 曝光 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種電子網(wǎng)板制造中曝光機(jī)用金屬鹵素曝光燈。
背景技術(shù)
對(duì)于制造電子網(wǎng)板曝光機(jī)用金屬鹵素曝光燈，目前國(guó)內(nèi)處于空白狀態(tài)，國(guó)際上也只有荷蘭Calmat公司能設(shè)計(jì)生產(chǎn)，型號(hào)為SBL-8T。國(guó)內(nèi)制造電子網(wǎng)板曝光機(jī)用曝光燈，目前主要從荷蘭Calmat公司進(jìn)口。但荷蘭Calmat公司生產(chǎn)的SBL-8T曝光燈，存在反光膜對(duì)所需波長(zhǎng)的紫外線反射率低、反射功率小、反光膜耐高溫性能差、性能不穩(wěn)定、工作中燈芯易熄弧等技術(shù)問(wèn)題，影響電子網(wǎng)板的制造質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有進(jìn)口金屬鹵素曝光燈存在的技術(shù)不足，本實(shí)用新型提供一種金屬鹵素曝光燈，該金屬鹵素曝光燈，不僅解決了進(jìn)口金屬鹵素曝光燈在技術(shù)上存在的不足問(wèn)題，而且在技術(shù)性能上比進(jìn)口金屬鹵素曝光燈有了大幅度提高。
本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：珍珠屏燈罩和燈錐結(jié)合處，經(jīng)熔焊后組成金屬鹵素曝光燈外殼，內(nèi)部充入氮?dú)猓辉跓翦F內(nèi)壁上涂有一層特殊的紫外線反光膜；在燈錐尾部，兩電源接片、金屬帽、支架分別依次連接，將外部電源引入金屬鹵素曝光燈外殼內(nèi)；與支架相連的兩鉬桿，與鉬片、釷鎢電極依次連接組成燈芯兩放電極；燈芯內(nèi)充入金屬鹵化物。當(dāng)兩電源接片接入電源，燈芯兩放電極，因受電壓作用擊穿金屬鹵化物而放電，燈芯將發(fā)出波長(zhǎng)從300～1000nm的各種波長(zhǎng)的紫外線光。又因受燈錐紫外線反光膜對(duì)不同波長(zhǎng)紫外線光反射的特殊選擇作用：波長(zhǎng)320～350nm、420～450nm的紫外線光將有90％以上被反射回去；波長(zhǎng)350～420nm的紫外線光將幾乎100％的被反射回去；而波長(zhǎng)450～1000nm的紫外線光則只有不到30％被反射回去。而波長(zhǎng)320～450nm的紫外線光，正是電子網(wǎng)板制造過(guò)程中所需要的紫外線光。
其中：所述在燈錐內(nèi)壁上涂有一層特殊的紫外線反光膜，其對(duì)波長(zhǎng)350～420nm的紫外線光透過(guò)率接近零；對(duì)波長(zhǎng)320～350nm、420～450nm的紫外線光透過(guò)率小于10％；而對(duì)波長(zhǎng)450～1000nm的紫外線光透過(guò)率高于70％。
所述燈芯內(nèi)充入金屬鹵化物，其成分含K85氣體、碘化鐵、碘化鎵、碘化銦和水銀。
本發(fā)明的有益效果是：反光膜對(duì)所需波長(zhǎng)的紫外線光反射率高、輸出功率大；反射膜附著率強(qiáng)、耐高溫性能好而且穩(wěn)定、工作可靠；工作中燈芯不熄弧。
附圖說(shuō)明
下面結(jié)合圖1和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
圖1為本實(shí)用新型縱剖面結(jié)構(gòu)圖。
圖中1.珍珠屏燈罩，2.支架，3.鉬片，4.釷鎢電極，5.金屬鹵化物，6.鉬桿，7.燈錐，8.電源接片，9.金屬帽，10.反光膜，11.氮?dú)狻?/p>
具體實(shí)施方式
下面參閱圖1所示實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說(shuō)明。珍珠屏燈罩(1)和燈錐(7)結(jié)合處經(jīng)熔焊組成金屬鹵素曝光燈外殼，內(nèi)部充入氮?dú)?11)；在燈錐(7)內(nèi)壁上涂有一層特殊紫外線反光膜(10)，其對(duì)波長(zhǎng)350～420nm的紫外線光透過(guò)率接近零；對(duì)波長(zhǎng)320～350nm、420～450nm的紫外線光透過(guò)率小于10％；而對(duì)波長(zhǎng)450～1000nm的紫外線光透過(guò)率高于70％；在燈錐尾部，兩電源接片(8)、金屬帽(9)、支架(2)分別依次連接，作為電源引線，將外部電源引入金屬鹵素曝光燈外殼內(nèi)；與支架(2)相連的兩鉬桿(6)，與鉬片(3)、釷鎢電極(4)依次連接組成燈芯兩放電極；燈芯內(nèi)充入金屬鹵化物，其由K85氣體、碘化鐵、碘化鎵、碘化銦和水銀組成。
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