[實用新型]一種改良的用于硅片甩干機的硅片盒放置夾具

無效

• 申請號: 200920035276.8
• 申請日: 2009-03-14
• 公開（公告）號: CN201387222Y
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發明（設計）人: 陳世強;鄒虎
• 申請（專利權）人: 無錫市奧曼特科技有限公司
• 主分類號: F26B25/08
• 分類號: F26B25/08;F26B5/08
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所（普通合伙）
• 代理人: 顧吉云

(一)技術領域

本實用新型涉及硅片加工生產設備技術領域，具體一種改良的用于硅片甩干機的硅片盒放置夾具。

(二)背景技術

硅片甩干時，硅片放置于硅片盒中，硅片盒放置于專用夾具中，由于受到硅片規格大小的影響，針對不同規格的硅片，需要配置相對應規格的硅片盒放置夾具，其配置成本高，且在使用時需要頻繁更換硅片盒放置夾具，生產效率低。

(三)實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提供了一種改良的用于硅片甩干機的硅片盒放置夾具，其能按照硅片規格的大小的要求適當調整，配置成本低，生產效率高。

其技術方案是這樣的：其包括兩塊底板和兩塊側板，所述兩塊底板和兩塊側板相互扣接，其特征在于：其還包括側擋桿和下擋桿，所述底板上開有卡孔，所述側擋桿和下擋桿分別卡接入與所述底板的對應的卡孔內。

其進一步特征在于：所述底板上與側擋桿、下擋桿相對應的卡孔分別設置有兩組；所述側擋桿和下擋桿分別有兩根；所述下檔桿設置有側擋邊；所述下擋桿底部邊緣設置有凸起；所述側板正面開有主排水孔；所述主排水孔設置有兩個；所述側板的底面開有小排水孔。

在本實用新型結構中，側擋桿和下擋桿可以根據硅片規格的大小來調節位置，其不需要使用不同規格的硅片盒放置夾具來適合硅片規格的大小，減少了配置成本，降低了生產成本，提高了生產效率。

(四)附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為圖1的俯視結構示意圖；

圖3為圖1的右視結構示意圖；

圖4為圖1的后視結構示意圖。

(五)具體實施方式

見圖1、圖2、圖3和圖4，本實用新型包括兩塊底板1和兩塊側板3，兩塊底板1和兩塊側板3相互扣接，本實用新型還包括側擋桿2和下擋桿4，側擋桿2和下擋桿4分別卡接入底板1的卡孔5、10內。卡接孔5、10分別設置有兩組；側擋桿2和下擋桿4分別有兩根；下擋桿4設置有側擋邊6，可以限制硅片盒的下部左右移動；下擋桿4底部邊緣設置有凸起7，起到限制下擋桿4的位置移動的作用；側板2正面開有兩個主排水孔8；側板2的底面開有小排水孔9，甩干機工作時，在離心力作用下排水。

當硅片甩干機對大規格硅片進行甩干操作時，可以將本實用新型結構中的側擋桿2、下擋桿4取出，直接將大片盒放入本實用新型結構中，當需要對小規格硅片進行甩干操作，則將側擋桿2和下擋桿4卡入底板1上的卡孔5、10內，起到固定小硅片盒的作用。卡孔5、10的選擇，根據硅片盒的大小來確定，如果硅片盒大，就選擇外側的卡孔，硅片盒小，則選擇內側的卡孔。