[實用新型]單晶爐溫度控制單元

無效

• 申請號: 200920032967.2
• 申請日: 2009-05-06
• 公開（公告）號: CN201390799Y
• 公開（公告）日: 2010-01-27
• 發明（設計）人: 丁積軍;李陽
• 申請（專利權）人: 西安恒新自動控制有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B15/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種控溫系統，特別涉及一種基于自適應技術的單晶爐溫度控制單元。

背景技術

傳統的加熱電源系統采用通用型溫度控制器，使得產品的可靠性不是很高，溫度控制的精度有些偏低，響應速度也比較慢。傳統溫度控制器中PID參數均需根據生產時熱場的不同進行手動修改，相對來說比較麻煩。

發明內容

為了克服上述現有技術的缺陷，本實用新型的目的在于提供一種單晶爐溫度控制單元，具有結構簡單、精度高的特點。

為了達到上述目的，本實用新型的結構原理是：單晶爐溫度控制單元，包括一溫校控制器1，溫?？刂破?的溫度信號輸出端與控溫裝置模塊2的信號輸入端相連，控溫裝置模塊2的信號輸出端與信號隔離轉換模塊3的信號輸入端相連，信號隔離轉換模塊3的信號輸出端與加熱電源柜4的信號輸入端相連，加熱電源柜4與溫度傳感器5的溫度控制端相連，溫度傳感器5的溫度控制輸出端與控溫模塊2的信號輸入端相連。

電網波動加熱器的溫度要產生變化，但溫度變化要滯后，由于本實用新型設計了加熱電源柜，所以電壓電流反饋是在擾動發生但爐內溫度還未有大波動時就采取措施，提前克服干擾，讓爐內溫度幾乎不產生波動。

附圖說明

附圖是本實用新型的結構原理圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的結構原理和工作原理做詳細敘述。

參照附圖，單晶爐溫度控制單元，包括一溫校控制器1，溫校控制器1的溫度信號輸出端與控溫裝置模塊2的信號輸入端相連，控溫裝置模塊2的信號輸出端與信號隔離轉換模塊3的信號輸入端相連，信號隔離轉換模塊3的信號輸出端與加熱電源柜4的信號輸入端相連，加熱電源柜4與溫度傳感器5的溫度控制端相連，溫度傳感器5的溫度控制輸出端與控溫模塊2的信號輸入端相連。

本實用新型的工作原理為：溫?？刂破?在晶體生長過程中，控制晶升速度，當晶升速度偏離設定值時，溫校控制器1改變控溫輸出，溫度傳感器5產生的溫度信號送入控溫裝置模塊2經信號隔離轉換模塊3轉換放大送入加熱電源柜4加熱電壓。不論外部的干擾使爐溫升高還是降低，控溫模塊2總在不斷地檢測，不斷地調整，通過加熱電源柜4實現這個電網干擾的電壓電流反饋系統。因為溫度系統是一個熱慣性滯后的控制系統，電網波動了，加熱器的溫度要產生變化，但溫度變化要滯后，溫度傳感器檢測出溫度變化后系統再去調節以維持爐溫不變，這個過程需要教程時間，所以電壓電流反饋是在擾動發生但爐內溫度還未有波動時就采取措施，提前克服干擾，讓爐內溫度幾乎不產生波動，它的作用比溫度大閉環反饋快得多。