[實用新型]一種硅芯爐籽晶卸放、抓取自動控制裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200920031771.1 | 申請日: | 2009-01-20 |
| 公開(公告)號: | CN201339073Y | 公開(公告)日: | 2009-11-04 |
| 發(fā)明(設計)人: | 王建春;高京慧;雷小博;吳斌;姚婕 | 申請(專利權(quán))人: | 西安理工晶體科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 西安弘理專利事務所 | 代理人: | 羅 笛 |
| 地址: | 710077陜西*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硅芯爐 籽晶 抓取 自動控制 裝置 | ||
1、一種硅芯爐籽晶卸放、抓取自動控制裝置,包括籽晶托盤(1)及用于籽晶頭抓取的提拉抓取機構(gòu)(2),其特點在于:
在籽晶托盤(1)的轉(zhuǎn)軸處安裝有一個增量編碼器(3),籽晶托盤(1)還通過減速機構(gòu)(4)與步進電機(5)連接;在提拉抓取機構(gòu)(2)上設置有一個高度傳感器(6),提拉抓取機構(gòu)(2)還與直流伺服電機(7)連接,增量編碼器(3)、步進電機(5)、高度傳感器(6)和直流伺服電機(7)分別與邏輯控制器PLC(8)連接,在邏輯控制器PLC(8)中設置有軟啟動及軟停止功能。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅芯爐籽晶卸放、抓取自動控制裝置,其特點在于:所述增量編碼器(3)的分辨率為2000線、其角度可細分且最小步距角為1.8°。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅芯爐籽晶卸放、抓取自動控制裝置,其特點在于:所述減速機構(gòu)(4)采用蝸輪蝸桿結(jié)構(gòu),減速比為1∶10。
4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅芯爐籽晶卸放、抓取自動控制裝置,其特點在于:所述高度傳感器(6)的分辨率為1mm。
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