[實用新型]高安全性掃描電鏡樣品臺

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920031226.2
• 申請日: 2009-08-04
• 公開（公告）號: CN201464332U
• 公開（公告）日: 2010-05-12
• 發(fā)明（設計）人: 郭紅;陳志偉;李正民;王英;馮柳
• 申請（專利權）人: 山東理工大學
• 主分類號: G01N13/10
• 分類號: G01N13/10
• 代理公司: 淄博佳和專利代理事務所 37223
• 代理人: 王立芹

技術領域

高安全性掃描電鏡樣品臺，屬于測量儀器實驗設備領域，具體涉及一種用于掃描電鏡的樣品臺。

背景技術

掃描電鏡是利用電磁透鏡來掃描成像的，對磁性試樣要預先去磁，以免觀察時電子束受磁場的影響，但在內(nèi)部磁場的作用下，即使是非磁性試樣也有可能被磁化。目前通用的掃描電鏡樣品臺有兩種：一種是用于做掃描(SEM)和能譜(EDS)的樣品臺，包括安裝樣品座的圓臺和用于將圓臺安裝在掃描電鏡樣品室上的底座，這種樣品臺的圓臺與底座、底座與掃描電鏡樣品室的安裝位置不易對準，容易損壞掃描電鏡的分子泵，且樣品座是直接插入圓臺的孔中而沒有相應的固定措施，由于樣品座距離電子槍的極靴非常近，被磁化了的樣品座及樣品座上的樣品就有可能被吸到電鏡的核心部位極靴上而對電鏡造成致命危害；另一種是用于做電子背散射衍射(EBSD)的樣品臺，包括一圓臺底座，圓臺底座的底部設有與掃描電鏡樣品室螺紋連接的螺桿，其頂端中心設一插電子背散射衍射專用座的圓孔，專用座插入圓孔后，樣品座再安裝到專用座的插孔中固定，但這種樣品臺的圓臺底座一次只能插一個樣品座，測試一個樣品，測試效率低。此外以上兩種樣品臺通用型差，需要操作人員根據(jù)不同的測試需要經(jīng)常進行更換，增加了操作的失誤率。為克服以上缺陷，本發(fā)明人曾在2007年設計了兩種安裝方便、通用性強的掃描電鏡樣品臺，并申請實用新型專利(專利號ZL?200720157035.9和ZL?200720157036.3)。但這兩種樣品臺仍存在著以下問題：1、定位不好，當樣品臺上同時放置多個樣品時，每個樣品在樣品臺的準確位置不易尋找；2、對樣品座的固定依然不夠安全、牢固。目前，關于不銹鋼、耐熱鋼等各種類型的鋼鐵的研究非常普遍，而多數(shù)的鋼鐵都是弱磁性的。為了更安全地對鋼鐵等弱磁性材料進行電鏡測試，本發(fā)明人對原有的掃描電鏡樣品臺進行改造，設計并申請一種高安全性掃描電鏡樣品臺。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術問題是：克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種可同時安放多個樣品，安裝方便，定位準確，樣品固定牢固的高安全性掃描電鏡樣品臺。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：該高安全性掃描電鏡樣品臺，包括樣品臺和樣品座，其特征在于：樣品臺分為上、下兩部分，樣品臺上、下部分別設有對應的樣品座插孔，樣品臺上部底面上設有定位槽，樣品座下端支桿上設有定位孔，定位栓同時穿過定位槽和定位孔將樣品座固定在樣品臺上。

定位槽為多條，開在多個樣品座插孔組成的直線上。定位槽可排列成“米”字形或“井”字形等多種形狀，具體排列形狀可根據(jù)具體需要設計。

定位槽為8條。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺所具有的有益效果是：

1、通用性強，做SEM和EDS實驗時，可直接借用圓臺底座作為固定座，不必因做不同實驗而頻繁安裝更換樣品臺，防止損壞儀器；

2、安裝簡單、定位準確，通過沉頭螺栓或其他方式直接固定在圓臺底座上，安裝部件少，保證定位誤差小；

3、樣品座固定牢固，結構簡單，通過定位桿將樣品座固定在樣品臺上，防止被磁化了的樣品座及樣品座上的樣品被吸到電鏡的核心部位極靴上而對電鏡造成致命危害。

附圖說明

圖1是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺實施例1上端蓋仰視圖結構示意圖。

圖2是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺實施例1下端蓋俯視圖結構示意圖。

圖3是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺實施例1安裝結構剖視圖示意圖。

圖4是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺樣品座結構示意圖。

圖5是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺定位銷結構示意圖。

圖6是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺實施例2上端蓋仰視圖結構示意圖。

圖7是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺實施例2下端蓋俯視圖結構示意圖。

圖8是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺實施例2安裝結構剖視圖示意圖。

其中：1、樣品臺上部??2、緊固螺釘??3、定位槽??4、中心螺栓孔??5、樣品座插孔??6、樣品臺下部??7、樣品座??8、定位栓??9、支桿??10、定位孔。

下面結合附圖1～8對本實用新型做進一步說明：

具體實施方式

實施例1

圖1～5是本實用新型高安全性掃描電鏡樣品臺的最佳實施例。

參照附圖1～5，