[實用新型]塊狀金屬材料掃描電鏡樣品臺無效

申請?zhí)枺?/td>	200920031225.8	申請日：	2009-08-04
公開（公告）號：	CN201465986U	公開（公告）日：	2010-05-12
發(fā)明（設計）人：	郭紅;陳志偉;馮柳;李正民;宋亦剛	申請（專利權）人：	山東理工大學
主分類號：	H01J37/20	分類號：	H01J37/20;H01J37/28;G01N23/225;G01N23/227
代理公司：	淄博佳和專利代理事務所 37223	代理人：	王立芹
地址：	255086 山東省淄博市***	國省代碼：	山東;37
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摘要：
搜索關鍵詞：	塊狀金屬材料掃描電鏡樣品
鉆瓜網(wǎng) 技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

技術領域

塊狀金屬材料掃描電鏡樣品臺，屬于測量儀器實驗設備領域，具體涉及一種用于掃描電鏡的樣品臺。

背景技術

掃描電鏡是利用電磁透鏡來掃描成像的，對磁性試樣要預先去磁，以免觀察時電子束受磁場的影響，但在內(nèi)部磁場的作用下，即使是非磁性試樣也有可能被磁化。傳統(tǒng)用于做掃描(SEM)和能譜(EDS)的樣品臺，包括安裝樣品座的圓臺和用于將圓臺安裝在掃描電鏡樣品室上的底座，其樣品座是直接插入圓臺的孔中而沒有相應的固定措施，由于樣品座距離電子槍的極靴非常近，被磁化了的樣品座及樣品座上的樣品就有可能被吸到電鏡的核心部位極靴上而對電鏡造成致命危害，因此對樣品及樣品座的固定至關重要。另外，這種樣品臺的圓臺與底座、底座與掃描電鏡樣品室的安裝位置不易對準，容易損壞掃描電鏡的分子泵。而專門用于做電子背散射衍射(EBSD)的樣品臺，包括一圓臺底座，圓臺底座的底部設有與掃描電鏡樣品室螺紋連接的螺桿，其頂端中心設一插電子背散射衍射專用座的圓孔，專用座插入圓孔后，樣品座再安裝到專用座的插孔中固定，由于這種樣品臺的圓臺底座一次只能插一個樣品座，測試一個樣品，測試效率低。以上兩種樣品臺通用型差，因此需要操作人員根據(jù)不同的測試需要經(jīng)常進行更換，增加了操作的失誤率。為克服以上缺陷，本發(fā)明人曾在2007年設計了兩種安裝方便、通用性強的掃描電鏡樣品臺，并申請實用新型專利(專利號ZL200720157035.9和ZL200720157036.3)。但這兩種樣品臺仍存在著以下問題：1、對塊狀金屬樣品的平整度及厚度尺寸要求仍然較高，為了電鏡操作的安全性，測試時要求塊狀金屬樣品平而薄，這就提高了金屬樣品的制備難度，特別是尺寸較小的塊狀金屬樣品研磨和拋光難度都很大，若是鑲嵌的話，又會影響電鏡的真空度；2、定位不好，樣品通過導電膠直接黏附在樣品座表面，當樣品臺上同時放置多個樣品座時，其在樣品臺的準確位置不易尋找；2、對樣品座的固定依然不夠安全、牢固。目前，關于不銹鋼、耐熱鋼等各種類型的鋼鐵的研究非常普遍，這些材料主要為塊狀，且不易對其形狀進行改變，為此本發(fā)明人對原有的掃描電鏡樣品臺進行改造，設計并申請一種塊狀金屬材料掃描電鏡樣品臺。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術問題是：克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種可直接同時安放多個塊狀金屬材料樣品，安裝方便，樣品固定牢固的塊狀金屬材料掃描電鏡樣品臺。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：塊狀金屬材料掃描電鏡樣品臺，其特征在于：加設有樣品隔板，樣品隔板與樣品臺配合使用，樣品臺為“凹”形，中心設有定位螺栓孔，邊沿均勻布有緊固螺紋孔，樣品隔板中心設有與樣品臺中心對應的定位螺栓孔，四周均布有多個扇形隔板。

樣品隔板四周均布的扇形隔板為3個或3個以上。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型塊狀金屬材料掃描電鏡樣品臺所具有的有益效果是：

1、對金屬材料平整度及厚度的要求較低，即使塊狀金屬材料樣品厚度較大、底面不夠平整，也可直接將其放入樣品臺內(nèi)加以固定，降低了對金屬形狀的要求，使不易加工的金屬材料也可方便測試。

2、通用性強，做SEM和EDS實驗時，可直接借用圓臺底座作為固定座，不必因做不同實驗而頻繁安裝更換樣品臺，防止損壞儀器；

3、安裝簡單、定位準確，樣品臺可通過沉頭螺栓直接固定在圓臺底座上，安裝部件少，保證定位誤差小，與樣品隔板配合使用，可準確確定樣品位置；

4、樣品座固定牢固，結構簡單，通過樣品臺邊沿的緊固螺釘與樣品隔板配合，將塊狀金屬材料樣品固定在樣品臺內(nèi)，防止被磁化了的樣品座及樣品座上的樣品被吸到電鏡的核心部位極靴上而對電鏡造成致命危害。

附圖說明

圖1是本實用新型塊狀金屬材料掃描電鏡樣品臺實施例1安裝俯視圖結構示意圖。

圖2是本實用新型塊狀金屬材料掃描電鏡樣品臺實施例1樣品隔板結構示意圖。