[實用新型]一種用于大氣壓下等離子體放電的改進式射頻電源

無效

• 申請號: 200920018081.2
• 申請日: 2009-01-19
• 公開（公告）號: CN201369677Y
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 李慶榮;徐向宇;卓慧鋒;李建華;劉文革
• 申請（專利權）人: 李慶榮;徐向宇;卓慧鋒;李建華;劉文革
• 主分類號: H02M5/40
• 分類號: H02M5/40;H02M7/527;H02M7/219;H05H7/02
• 代理公司: 濟南圣達專利商標事務所有限公司
• 代理人: 張 勇

1.一種用于大氣壓下等離子體放電的改進式射頻電源，其特征是，它的電路結構如下：交流輸入與采用通用的共差模濾波器組合而成的工頻、高頻濾波器連接，工頻、高頻濾波器與工頻整流電路連接，將交流電平電整流為直流電平，工頻整流電路與自激式高頻逆變電源連接，變為穩定的直流電平；該直流電平經過射頻濾波器后連接脈沖調整器，脈沖調整器輸出可控的脈沖調制信號后控制下一級的自激式射頻振蕩器，然后通過射頻匹配器輸出間隙式的射頻波并最終與等離子體負載相連；同時自激式射頻振蕩器還輸出取樣信號到信號處理器，信號處理器則將該信號反饋到脈沖調整器。

2.如權利要求1所述的用于大氣壓下等離子體放電的改進式射頻電源，其特征是，所述的自激式高頻逆變電源是由自激式高頻振蕩電路和高頻整流電路構成；其中，

自激式高頻振蕩電路是將直流轉化為頻率范圍是幾十kHz～幾百kHz的交流連續波，它由反饋電感L₁、主電感L₂及輸出電感L₃構成的自激式高頻振蕩變壓器TF₁，功率型場效應晶體管M₁，電阻R₁、R₂及R₃構成的軟啟動電路，電阻R₄、R₅及電容C₃構成的保護電路組成；調整自激式高頻振蕩變壓器主電感L₂的電感量以及并在主電感上電容C₂的容量以改變振蕩頻率；

高頻整流電路包括二極管D₁-D₄組成的橋式電路，以及并聯的大容量電解電容C₄和小容量的補償電容C₅；自激式高頻振蕩電路產生的交流連續波，由二極管D₁-D₄組成的橋式電路進行全橋整流，然后經大容量電解電容C₄濾波后輸出穩定的直流電壓；

自激式高頻逆變電源通過自激式高頻變壓器隔離，后端輸出的直流電源的負端直接接地。

3.如權利要求1所述的用于大氣壓下等離子體放電的改進式射頻電源，其特征是，所述的射頻濾波器是由幾節由電感L₅、電容C₇、電阻R₇組成的L型濾波器及電感L₄、電容C₈、電阻R₆組成的反Γ型濾波器聯合構成的O型濾波器；其中L型濾波器對射頻振蕩產生的基波有衰減作用，反Γ型濾波器對射頻振蕩產生的二次諧波有衰減作用。

4.如權利要求1所述的用于大氣壓下等離子體放電的改進式射頻電源，其特征是，所述的脈沖調整器是由頻率和脈沖寬度均可調節的信號發生器輸出脈沖控制信號，該信號經過變壓器TF₂隔離放大后，驅動串接在電路中的開關調整器，使輸出為可以調制后端連續射頻波的脈沖信號。