[實(shí)用新型]翻轉(zhuǎn)式晶圓自動傳輸裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200920010069.7
• 申請日: 2009-01-09
• 公開（公告）號: CN201345358Y
• 公開（公告）日: 2009-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳功
• 申請（專利權(quán)）人: 富創(chuàng)得科技(沈陽)有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 沈陽科威專利代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 刁佩德

1、一種翻轉(zhuǎn)式晶圓自動傳輸裝置，包括機(jī)架，固定在機(jī)架上的上料平臺，組裝在機(jī)架上作升降移動的帶有扣爪機(jī)構(gòu)的風(fēng)箱體和作升降、伸展移動的帶有抓取機(jī)構(gòu)的手臂機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述手臂機(jī)構(gòu)的下手臂通過翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接所述抓取機(jī)構(gòu)，即所述手臂機(jī)構(gòu)的下手臂與所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的翻轉(zhuǎn)基座鉸接在一起，所述抓取機(jī)構(gòu)的固定板通過翻轉(zhuǎn)軸鉸接在所述翻轉(zhuǎn)基座上，并利用組裝在翻轉(zhuǎn)基座上的齒輪連桿傳動機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述翻轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，帶動所述抓取機(jī)構(gòu)固定板繞軸線轉(zhuǎn)動，設(shè)置在所述抓取機(jī)構(gòu)的抓取電機(jī)通過渦輪蝸桿驅(qū)動抓取連桿帶動夾爪沿所述抓取機(jī)構(gòu)固定板的抓取滑軌往復(fù)移動，所述抓取機(jī)構(gòu)上的定位機(jī)構(gòu)設(shè)置可調(diào)定位塊。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：鉸接在所述翻轉(zhuǎn)基座上的翻轉(zhuǎn)軸固定在所述抓取機(jī)構(gòu)固定板的兩側(cè)，所述翻轉(zhuǎn)軸伸出翻轉(zhuǎn)基座軸孔端與所述齒輪連桿傳動機(jī)構(gòu)中的翻轉(zhuǎn)連桿端固定連接。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的翻轉(zhuǎn)式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述齒輪連桿傳動機(jī)構(gòu)中的一對相嚙合的小齒輪和大齒輪組裝在所述翻轉(zhuǎn)基座上，所述小齒輪組裝在所述翻轉(zhuǎn)基座的電機(jī)軸上，所述大齒輪側(cè)面通過銷軸鉸接傳動連桿的一端，傳動連桿的另一端與固定連接在所述翻轉(zhuǎn)軸端的翻轉(zhuǎn)連桿的另一端鉸接。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：驅(qū)動所述手臂機(jī)構(gòu)作升降、伸展移動的手臂升降電機(jī)和手臂伸展電機(jī)分別固定在所述機(jī)架上和固定在沿機(jī)架的手臂升降單滑軌滑動的手臂升降基板上，所述手臂升降電機(jī)通過三號傳動帶和手臂升降螺桿驅(qū)動固定在手臂升降基板上的手臂升降螺母沿螺桿軸向往復(fù)移動，使手臂機(jī)構(gòu)沿與機(jī)架的豎向作升降運(yùn)動。

5、根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的翻轉(zhuǎn)式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述手臂伸展電機(jī)通過減速機(jī)構(gòu)、二號傳動帶驅(qū)動固定在上手臂上的手臂傳動軸轉(zhuǎn)動，手臂傳動軸帶動上手臂繞手臂固定軸擺動，通過手臂旋轉(zhuǎn)軸與上手臂鉸接的下手臂在上手臂內(nèi)部傳動帶的帶動下繞上手臂擺動，通過手臂旋轉(zhuǎn)軸與下手臂鉸接的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)在下手臂內(nèi)部傳動帶的帶動下繞下手臂擺動，使手臂機(jī)構(gòu)沿與機(jī)架垂直方向作伸展運(yùn)動。

6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述風(fēng)箱體組裝在帶有風(fēng)箱體升降螺母的風(fēng)箱體固定座上，固定在機(jī)架上的風(fēng)箱體升降電機(jī)和風(fēng)箱體升降螺桿通過一號傳動帶驅(qū)動風(fēng)箱體升降螺母沿螺桿軸向往復(fù)移動，帶動風(fēng)箱體固定座沿機(jī)架的風(fēng)箱體升降單滑軌上、下滑動。

7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)式晶圓自動傳輸裝置，其特征在于：所述風(fēng)箱體的扣爪機(jī)構(gòu)的扣爪電機(jī)通過組裝其軸上的拉桿銷軸與扣爪拉桿一端鉸接，扣爪拉桿另一端與扣爪軸端的曲柄鉸接，扣爪軸另一端固定有扣爪，電機(jī)驅(qū)動扣爪軸上的曲柄繞軸線轉(zhuǎn)動，帶動扣爪開、合。