[實(shí)用新型]工件載盤(pán)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200920001251.6
• 申請(qǐng)日: 2009-01-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201362740Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 洪婉玲;郭勛聰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 鈺衡科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/00
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/00;C23C14/04;C23C14/14;B65D19/00;C03B35/00
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王一斌;王 琦

1、一種工件載盤(pán)，其特征在于，該工件載盤(pán)包括有：

載盤(pán)主體，為一框體，其具有相互平行設(shè)置的框邊以及均布于所述框邊內(nèi)緣的通孔；

多個(gè)復(fù)位元件，其具有一固定塊體以及一可樞轉(zhuǎn)地連結(jié)于該固定塊體的可動(dòng)塊體，所述固定塊體設(shè)置于所述框邊上；

多個(gè)防鍍遮片，其一側(cè)邊固定于所述復(fù)位元件的可動(dòng)塊體，并位于所述載盤(pán)主體的框邊內(nèi)緣的通孔上方的位置。

2、如權(quán)利要求1所述的工件載盤(pán)，其特征在于，所述工件載盤(pán)進(jìn)一步包括分別平行設(shè)置于所述載盤(pán)主體的兩個(gè)相對(duì)框邊下方的兩個(gè)移載導(dǎo)桿。

3、如權(quán)利要求1所述的工件載盤(pán)，其特征在于，所述工件載盤(pán)進(jìn)一步包括分別平行設(shè)置于所述載盤(pán)主體的兩個(gè)相對(duì)框邊外側(cè)的兩個(gè)擋片。

4、如權(quán)利要求2所述的工件載盤(pán)，其特征在于，所述工件載盤(pán)進(jìn)一步包括分別平行設(shè)置于所述載盤(pán)主體的另外兩個(gè)相對(duì)框邊外側(cè)的兩個(gè)擋片。

5、如權(quán)利要求4所述的工件載盤(pán)，其特征在于，所述載盤(pán)主體的框邊為兩條平行設(shè)置的長(zhǎng)邊以及兩條相鄰于該長(zhǎng)邊并平行設(shè)置的短邊。

6、如權(quán)利要求5所述的工件載盤(pán)，其特征在于，所述移載導(dǎo)桿通過(guò)多個(gè)連結(jié)塊體設(shè)置于所述長(zhǎng)邊的下方。

7、如權(quán)利要求6所述的工件載盤(pán)，其特征在于，所述擋片設(shè)置于所述短邊的外側(cè)。

8、如權(quán)利要求7所述的工件載盤(pán)，其特征在于，所述工件載盤(pán)進(jìn)一步包括一設(shè)置于所述固定塊體以及所述可動(dòng)塊體之間的彈性元件。