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[實用新型]停電報警裝置、UPS供電裝置和硅片加工設備無效

專利信息
申請號: 200920000375.2 申請日: 2009-02-12
公開(公告)號: CN201374574Y 公開(公告)日: 2009-12-30
發明(設計)人: 程東軍;王彥輝 申請(專利權)人: 英利能源(中國)有限公司
主分類號: H02J7/00 分類號: H02J7/00;H02H3/04;H01L21/78
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人: 逯長明
地址: 071000河北*** 國省代碼: 河北;13
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摘要:
搜索關鍵詞: 停電 報警裝置 ups 供電 裝置 硅片 加工 設備
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及硅片加工技術領域,特別涉及一種停電報警裝置、UPS供電裝置和硅片加工設備。

背景技術

目前,隨著集成電路、太陽能電池等產業的迅速發展,對硅片等半導體晶片的需求量也越來越大。硅片的制造和加工位于產業鏈的前端,因此,供應滿足產能需求的高質量的硅片,是集成電路、太陽能電池等產業的良性發展的基礎。

硅片的切割加工通常采用線切割技術,即,利用線鋸的鋼線將硅片按照需要進行切割。為了避免停電對線鋸正常運行的影響,線鋸這類硅片切割設備都設有不間斷電源(Uninterruptiable?Power?Supply,UPS),在市電停電時,UPS自動啟動,轉入由UPS的電池組為硅片切割設備供電。

然而問題在于,UPS的電池組僅能提供線鋸5~10分鐘的用電量,如果設備操作人員不知道停電,那么在電池組的電量耗盡后將突然斷電,在這種情況下,線鋸突然停止運行,導致切割硅片的鋼線發生斷線,造成生產的停滯,即使重新焊好鋼線,恢復供電時線鋸重新開機,因原來的鋼線留有焊點,該焊點將引起切割過程中對硅片的損傷,從而降低硅片等級。

實用新型內容

本實用新型的解決的問題是提供一種停電報警裝置,能夠防止當市電停電而轉由UPS供電后,UPS的電量耗盡導致切割鋼線斷線故障的發生,進而避免因焊接斷線的焊點而降低硅片等級。

本實用新型的解決的另一問題是提供一種UPS供電裝置,能夠防止因UPS的電池組電量耗盡而突然停電所導致的故障。

本實用新型的解決的又一問題是提供一種硅片加工設備,能夠提醒操作人員安全、及時停止設備運行,以防止突然斷電引起的故障發生。

為解決上述問題,本實用新型提供一種停電報警裝置,包括:控制器和報警器;其中,

所述控制器的輸入端分別連接市電的輸出端和UPS的輸出端;

所述報警器的輸入端連接所述控制器的輸出端。

所述控制器包括:第一開關部件,第二開關部件,接觸器;其中,

市電的輸出端經所述第一開關部件接入所述接觸器的電磁線圈;

UPS的輸出端經所述第二開關部件接入所述接觸器的常閉觸點的一端,所述接觸器的常閉觸點的另一端連接所述報警器的輸入端。

所述第一開關部件和/或所述第二開關部件為DZ47D5型空開。

所述接觸器為CJX2型接觸器。

所述報警器為聲光報警器。

所述控制器和報警器之間的連接采用屏蔽信號線。

相應的,本實用新型還提供一種UPS供電裝置,包括上述任一停電報警裝置。

相應的,本實用新型還提供一種硅片加工設備,包括上述任一停電報警裝置。

與現有技術相比,上述技術方案具有以下優點:

所述的停電報警裝置在市電停電而轉由UPS供電后,通過控制器檢測到停電狀態,由報警器提醒操作人員按照正常操作規程使硅片切割設備安全的停機,從而能夠防止UPS的電量耗盡導致切割鋼線斷線故障的發生,進而避免因焊接斷線的焊點而降低硅片等級。

另外,所述的停電報警裝置結構簡單,使用的材料少而使成本較低,能同時提供聲、光兩種報警信息,可靠性更好。

所述UPS供電裝置在市電停電時,能夠發出報警信號,提醒操作人員采取必要的措施,防止因UPS的電池組電量耗盡而突然停電所導致的故障。

所述硅片加工設備當市電停電時,UPS轉入由電池組供電,所述停電報警裝置發出報警信息,提醒操作人員安全、及時停止設備運行,以防止突然斷電引起的故障發生。

附圖說明

通過附圖所示,本實用新型的上述及其它目的、特征和優勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。并未刻意按實際尺寸等比例縮放繪制附圖,重點在于示出本實用新型的主旨。

圖1為本實用新型的實施例中停電報警裝置的示意圖;

圖2為本實用新型的實施例中停電報警裝置的電路結構圖。

具體實施方式

為使本實用新型的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂,下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細的說明。

在下面的描述中闡述了很多具體細節以便于充分理解本實用新型,但是本實用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施,因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。

其次,本實用新型結合示意圖進行詳細描述,在詳述本實用新型的實施例時,為便于說明,表示裝置結構的剖面圖會不依一般比例作局部放大,而且所述示意圖只是示例,其在此不應限制本實用新型保護的范圍。此外,在實際制作中應包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。

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