[發明專利]刀具表面摻硼金剛石復合涂層制備裝置

有效

• 申請號: 200910311897.9
• 申請日: 2009-12-21
• 公開（公告）號: CN101736323A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 沈彬;孫方宏;張志明;沈荷生;郭松壽
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/27
• 代理公司: 上海交達專利事務所 31201
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

1.一種刀具表面摻硼金剛石復合涂層制備裝置，包括：反應罩、合金鉆頭、 支撐臺及冷卻裝置、直流偏壓電源、熱絲電源、氣壓控制裝置、耐高溫彈簧、熱 絲和鉆頭支架，其特征在于：合金鉆頭和耐高溫彈簧分別豎直設置于鉆頭支架上， 熱絲的兩端分別與耐高溫彈簧相連接，鉆頭支架固定設置于支撐臺及冷卻裝置 上，反應裝置固定設置于支撐臺及冷卻裝置以及鉆頭支架的外部并與氣壓控制裝 置相連接，直流偏壓電源分別于熱絲及反應罩外殼相連，熱絲電源的分別與熱絲 及耐高溫彈簧相連；

所述的熱絲共兩根，該兩根熱絲位于合金鉆頭的兩側同一平面內、且成平行 等間距排列，兩根熱絲的兩端相連接；

所述的反應罩上設有氣體入口和觀察窗，其中：氣體入口位于反應罩的頂部， 觀察窗位于反應罩的側面。

2.根據權利要求1所述的刀具表面摻硼金剛石復合涂層制備裝置，其特征 是，所述的熱絲電源的加熱溫度為2000-2400℃。