[發(fā)明專利]顯微定位測(cè)試裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910307547.5
• 申請(qǐng)日: 2009-09-23
• 公開（公告）號(hào): CN101666624A
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董占民;肖堯;孫紅三;賈偵華;孫梁;伊文君;田建明;徐杰;劉鴻飛;郭金源
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué);北京中拓機(jī)械有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00
• 代理公司: 上海申蒙商標(biāo)專利代理有限公司
• 代理人: 周 豐

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及LED晶圓檢測(cè)用裝置。特別是與定位測(cè)試結(jié)構(gòu)有關(guān)，采用一體化緊湊結(jié)構(gòu)，是一種完成微晶片測(cè)試定位、探針調(diào)整、光電檢測(cè)等工作的裝置。

背景技術(shù)

中國(guó)專利文獻(xiàn)在1996年5月31日公開了一種名稱為“顯微攝影即時(shí)定位測(cè)試結(jié)構(gòu)”的發(fā)明專利，專利號(hào)為200420088008.x，該專利技術(shù)是一種顯微攝影即時(shí)定位測(cè)試結(jié)構(gòu)，它包含一光特性分析模組，其下方設(shè)一分析模組固定座，及相鄰處設(shè)CCD(影像感知原件)攝影機(jī)，其系含有一顯微鏡頭、鏡頭固定座、CCD焦距微調(diào)座、CCD角度固定件，而其下方則設(shè)有CCDx?y微調(diào)座，及一CCD固定基座，而另一相對(duì)應(yīng)處，設(shè)一CCD攝影機(jī)光源，并含有一光遠(yuǎn)固定座第一件、第二件及第三件，藉此，組裝成整組系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，并設(shè)于檢測(cè)機(jī)本體上，可供測(cè)試LED、LCD及其他晶圓之使用。所述的裝置顯微攝影即時(shí)定位測(cè)試機(jī)構(gòu)該方法造成運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)行程大，結(jié)構(gòu)不緊湊，定位及探針位置準(zhǔn)確調(diào)整困難，操作無法達(dá)到快速要求，有將其進(jìn)一步改進(jìn)的必要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的，根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提出一種顯微定位測(cè)試裝置，達(dá)到操作快捷，人機(jī)交互好，提高工作效率的目的。

本發(fā)明目的實(shí)現(xiàn)由以下技術(shù)方案完成：

本發(fā)明包括：基座1，上方放置一平動(dòng)組件，平動(dòng)組件包括動(dòng)力源20、固定座21、第一滑座22、第二滑座23、滾子滑軌構(gòu)成24，其中動(dòng)力源為氣缸，執(zhí)行直線運(yùn)動(dòng)，平動(dòng)組件藉由第一滑座22與基座1相連，動(dòng)力源20通過固定座21固定，并放置于第一滑座22的頂面，第二滑座23置于第一滑座22頂面，且第一滑座22、第二滑座23之間設(shè)置滾子滑軌24，第二滑座23端部設(shè)置通孔231，在通孔處有缺口232，通孔231內(nèi)放置CCD攝像機(jī)、CCD攝像機(jī)由CCD，鏡頭31、光源32。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便，人機(jī)交互好，一CCD攝像頭即完成定位監(jiān)視功能。本發(fā)明是放置于檢測(cè)機(jī)上，供測(cè)試LED晶圓檢測(cè)用。

附圖說明

圖1系本發(fā)明之立體分解示意圖；

圖2系本發(fā)明之組合立體示意圖；

圖3系本發(fā)明之第二滑座示意圖。

具體實(shí)施方式

如附圖1、2、3示，圖中標(biāo)號(hào)分別表示如下：

1-基座、20--動(dòng)力源、21--固定座、22--第一滑座、23--第二滑座、231--通孔、232--缺口、24--滾子滑軌、30--CCD、31--鏡頭、32--光源。

參閱圖1、圖2，本發(fā)明一種顯微定位測(cè)試結(jié)構(gòu)，系包含一基座1，其上方相連第一滑座22，動(dòng)力源20通過固定座21固定，并一同放置于第一滑座22頂面，第二滑座23置于第一滑座22頂面，且第一滑座22、第二滑座23間放置滾子滑軌24，第二滑座端部通孔，且通孔231處開缺口232，通孔231內(nèi)容置由CCD30，鏡頭31，光源32組成的組件，藉此，組裝成整套系統(tǒng)。本發(fā)明一種顯微定位測(cè)試結(jié)構(gòu)，主要設(shè)于檢測(cè)機(jī)上，用于檢測(cè)機(jī)對(duì)晶粒的識(shí)別定位及點(diǎn)測(cè)時(shí)監(jiān)視，提高工作效率，簡(jiǎn)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。

雖然以上已經(jīng)參照附圖對(duì)按照本發(fā)明目的的構(gòu)思和實(shí)施例作了詳盡說明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以認(rèn)識(shí)到，在沒有脫離權(quán)利要求限定范圍的前提條件下，仍然可以對(duì)本發(fā)明作出各種改進(jìn)和變換，而這種改進(jìn)和變換仍然應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。