[發(fā)明專(zhuān)利]研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910306010.7
• 申請(qǐng)日: 2009-08-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101992413A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 裴紹凱
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B19/26
• 分類(lèi)號(hào): B24B19/26;B24B55/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種研磨裝置，用于研磨待研磨工件，該研磨裝置包括一個(gè)固定筒、一個(gè)旋轉(zhuǎn)筒、多個(gè)研磨片、一個(gè)致動(dòng)器，所述固定筒包括一內(nèi)空的腔體，所述旋轉(zhuǎn)筒可旋轉(zhuǎn)地收容于該腔體內(nèi)，該旋轉(zhuǎn)筒內(nèi)開(kāi)設(shè)有一個(gè)圓柱形的容水腔，所述多個(gè)研磨片固設(shè)于旋轉(zhuǎn)筒與所述固定筒相對(duì)的側(cè)面上，所述待研磨工件設(shè)置在所述腔體的內(nèi)側(cè)面，所述致動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)該旋轉(zhuǎn)筒旋轉(zhuǎn)，以使旋轉(zhuǎn)筒內(nèi)的多個(gè)研磨片對(duì)待研磨工件進(jìn)行研磨，其特征在于：所述研磨裝置進(jìn)一步包括一清洗裝置，該清洗裝置用于對(duì)研磨好的工件進(jìn)行清洗，該清洗裝置包括一中空容置體、及一通管，所述容置體包括一承載面及多個(gè)側(cè)面，所述承載面上開(kāi)設(shè)有一第一開(kāi)口，所述固定筒設(shè)置在該承載面上，且所述第一開(kāi)口與所述容水腔相連通，所述容置體的一側(cè)面上開(kāi)設(shè)有第二開(kāi)口，所述通管一端套設(shè)在該第二開(kāi)口內(nèi)與所述中空容置體的內(nèi)部相連通，所述通管用于往所述腔體內(nèi)注入純水。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于：所述清洗裝置進(jìn)一步包括一振動(dòng)元件，所述振動(dòng)元件設(shè)置在所述容置體的一側(cè)面上。

3.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于：該固定筒上開(kāi)設(shè)有一個(gè)軸孔，該旋轉(zhuǎn)筒包括一個(gè)位于旋轉(zhuǎn)筒的中軸線上的旋轉(zhuǎn)軸，該旋轉(zhuǎn)軸穿過(guò)該軸孔連接到該致動(dòng)器。

4.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于：該腔體為正六棱柱形腔體。

5.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于：所述腔體的內(nèi)側(cè)面開(kāi)設(shè)有至少一個(gè)固定該待研磨工件的固定槽，每個(gè)固定槽上開(kāi)設(shè)有至少一個(gè)吸氣孔，該第至少一吸氣孔用于與一真空源連通以在研磨時(shí)將該待研磨工件吸附固定在該固定槽。

6.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，每個(gè)研磨片槽上開(kāi)設(shè)有至少一個(gè)吸附孔，該至少一吸附孔用于與一真空源連通以在研磨時(shí)將該研磨片吸附固定在該研磨片槽。

7.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于：該旋轉(zhuǎn)筒還包括多組出水區(qū)，每組出水區(qū)包括兩個(gè)相背且平行于該中軸線的出水區(qū)，該旋轉(zhuǎn)筒還包括多個(gè)設(shè)置在該出水區(qū)上的出水噴嘴，該出水噴嘴與該容水腔連通。

8.如權(quán)利要求1所述的弧面研磨裝置，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)筒還包括多組出料區(qū)，每組出料區(qū)包括兩個(gè)相背且平行于該中軸線的出料區(qū)，該旋轉(zhuǎn)筒還包括多個(gè)設(shè)置在該出料區(qū)上的出料噴嘴，該旋轉(zhuǎn)筒內(nèi)開(kāi)設(shè)有一個(gè)與該多個(gè)出料噴嘴連通的容料腔。