[發明專利]用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯

無效

• 申請號: 200910304720.6
• 申請日: 2009-07-23
• 公開（公告）號: CN101615578A
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: 汪明剛;劉杰;夏洋;李超波;陳瑤;趙麗莉
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: H01L21/265
• 分類號: H01L21/265;C23C14/48
• 代理公司: 北京市德權律師事務所
• 代理人: 王建國

1.一種用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，包括杯身、杯底和杯口，其特征在于，所述杯身相對于所述杯底的至少一個傾角小于90度；

所述傾角α＝arctan(H/M)，其中，H為所述法拉第杯杯身的高度，M為所述杯底最外側到距離其最近的所述杯口邊緣的水平距離。

2.根據權利要求1所述的用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，其特征在于，所述杯身的高度與所述杯口的最大尺寸之比大于等于3且小于等于15。

3.根據權利要求2所述的用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，其特征在于，所述杯身的高度與所述杯口的最大尺寸之比為10。

4.根據權利要求3所述的用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，其特征在于，所述至少一個傾角大于等于60度。

5.根據權利要求4所述的用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，其特征在于，所述法拉第杯的形狀為所述杯口的尺寸小于所述杯底的尺寸的任意規則的立體幾何形狀。

6.根據權利要求5所述的用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，其特征在于，所述法拉第杯的形狀為圓錐形、棱錐形或至少包括兩級的寶塔形。

7.根據權利要求6所述的用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，其特征在于，所述法拉第杯的杯底由石墨、鋁、或不銹鋼制成。

8.根據權利要求7所述的用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，其特征在于，所述杯底的內表面是無紋理的平面結構或者具有梳狀溝槽結構。

9.根據權利要求8所述的用于檢測等離子體浸沒注入劑量的法拉第杯，其特征在于，所述梳狀溝槽結構包括同心圓狀梳狀溝槽結構、相互平行的直線狀有序排列的梳狀溝槽結構和無序排列狀的梳狀溝槽結構。