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[發明專利]深孔內壁電弧離子鍍膜方法有效

專利信息
申請號: 200910303933.7 申請日: 2009-07-02
公開(公告)號: CN101597750A 公開(公告)日: 2009-12-09
發明(設計)人: 林國強;石昌侖;王文濤;劉琪 申請(專利權)人: 大連理工大學
主分類號: C23C14/32 分類號: C23C14/32
代理公司: 大連理工大學專利中心 代理人: 侯明遠
地址: 116085遼*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 內壁 電弧 離子 鍍膜 方法
【權利要求書】:

1.深孔內壁電弧離子鍍膜方法,是將具有管孔結構的工件清洗干燥后放入 電弧離子鍍的真空室中,經過抽真空、通氬氣、啟弧、加負偏壓、濺射清洗、 通反應氣體、鍍膜、停弧、斷電和爐冷階段后取出工件,其特征在于:在具有 管孔結構的工件周圍布置永磁鐵和在鍍膜階段使用脈沖偏壓,布置的永磁鐵的 磁感應強度為500~8000高斯、長度為20~100mm,磁鐵幾何中心點到工件(3) 和孔(6)端面的距離L與磁鐵的磁感應強度B成正比,并符合L=B/40±50關 系,其中B的單位為高斯,L的單位為毫米;使用的脈沖偏壓的幅值為200~800V, 頻率為5~40kHz,占空比為5~40%。

2.根據權利要求1所述深孔內壁電弧離子鍍膜方法,其特征在于:所述的 在具有管孔結構的工件周圍布置永磁鐵,是在工件(3)一側與工件的孔軸方向 成0~45°角布置一個主永磁鐵(4)。

3.根據權利要求1所述深孔內壁電弧離子鍍膜方法,其特征在于:所述的 在具有管孔結構的工件周圍布置永磁鐵,是在工件(3)的兩側與工件的孔軸方 向成0~45°角對稱布置一個主永磁鐵(4)和一個輔永磁鐵(5)。

4.根據權利要求1所述深孔內壁電弧離子鍍膜方法,其特征在于:所述的 具有管孔結構的工件是長度為20~150mm,直徑為20~100mm,寬度和高度為20~ 100mm的具有內孔結構的金屬模具。

5.根據權利要求1所述深孔內壁電弧離子鍍膜方法,其特征在于:所述的 具有管孔結構的工件是直徑為Φ10~100mm、長為50~400mm、厚度為1~10mm 的金屬管子。

6.根據權利要求1所述深孔內壁電弧離子鍍膜方法,其特征在于:所述的 具有管孔結構的工件是長度為20~150mm,直徑為20~100mm,寬度和高度為20~ 100mm的具有內孔結構的金屬零件。

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