[發(fā)明專利]電容式傳感器及陀螺儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910302544.2
• 申請日: 2009-05-22
• 公開（公告）號: CN101893451A
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張仁淙
• 申請（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: G01D5/241
• 分類號: G01D5/241;G01C19/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電容式傳感器，其包括一定極板、一動極板及一彈性裝置；所述定極板包括一底板、一側(cè)壁、多個第一支架及多個定柵；所述側(cè)壁呈圓環(huán)狀，固設(shè)于底板邊緣；所述多個第一支架間隔均勻的固設(shè)于側(cè)壁內(nèi)側(cè)；所述多個定柵沿同一方向垂直固設(shè)于第一支架上；所述彈性裝置一端固設(shè)于底板上，另一承載所述動極板；所述動極板包括多個第二支架及多個動?xùn)牛凰龆鄠€第二支架間隔均勻的固設(shè)于彈性裝置的另一端；所述多個動?xùn)叛嘏c定柵的朝向相反的方向垂直固設(shè)于第二支架上；所述定柵與動?xùn)畔嗷ソ诲e重疊從而形成電容器的兩極。

2.如權(quán)利要求1所述的電容式傳感器，其特征在于：所述電容式傳感器是采用硅材料制成。

3.如權(quán)利要求2所述的電容式傳感器，其特征在于：所述電容式傳感器是采用MEMS技術(shù)制造。

4.如權(quán)利要求1所述的電容式傳感器，其特征在于：所述電容式傳感器還包括一電容量測電路及一與所述電容量測電路電連接的數(shù)/模轉(zhuǎn)化模塊，所述定極板與動極板分別與電容量測電路相電性連接。

5.如權(quán)利要求1所述的電容式傳感器，其特征在于：所述定柵與動?xùn)哦汲蕡A弧狀。

6.如權(quán)利要求5所述的電容式傳感器，其特征在于：所述定柵的弧長從靠近側(cè)壁的一端到遠(yuǎn)離側(cè)壁的另一端逐漸減小，所述動?xùn)诺幕￠L從靠近側(cè)壁的一端到遠(yuǎn)離側(cè)壁的另一端逐漸增大。

7.如權(quán)利要求1所述的電容式傳感器，其特征在于：所述底板為一圓形基板。

8.如權(quán)利要求1所述的電容式傳感器，其特征在于：所述彈性裝置為彈性材料螺旋上升繞設(shè)而成的塔簧，所述彈性裝置的旋轉(zhuǎn)半徑由下至上逐漸增大。

9.如權(quán)利要求1所述的電容式傳感器，其特征在于：所述彈性裝置為彈性材料在同一表面上依次繞設(shè)而成的渦卷簧。

10.一種陀螺儀，其包括一承載裝置、一電路模塊及三個電容式傳感器；所述三個電容式傳感器分別沿空間坐標(biāo)軸的三個相互垂直的方向固設(shè)在承載裝置上；所述電路模塊對電容式傳感器感測的信號進行處理；所述電容式傳感器包括一定極板、一動極板及一彈性裝置；所述電容式傳感器包括一定極板、一動極板及一彈性裝置；所述定極板包括一底板、一側(cè)壁、多個第一支架及多個定柵；所述側(cè)壁呈圓環(huán)狀，固設(shè)于底板邊緣；所述多個第一支架間隔均勻的固設(shè)于側(cè)壁內(nèi)側(cè)；所述多個定柵沿同一方向垂直固設(shè)于第一支架上；所述彈性裝置一端固設(shè)于底板上，另一承載所述動極板；所述動極板包括多個第二支架及多個動?xùn)牛凰龆鄠€第二支架間隔均勻的固設(shè)于彈性裝置的另一端；所述多個動?xùn)叛嘏c定柵的朝向相反的方向垂直固設(shè)于第二支架上；所述定柵與動?xùn)畔嗷ソ诲e重疊從而形成電容器的兩極。