[發(fā)明專利]撓式模具的制造方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910302320.1
• 申請(qǐng)日: 2009-05-14
• 公開（公告）號(hào): CN101885216A
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃雍倫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B29C33/38
• 分類號(hào): B29C33/38;B29L11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種模具的制造方法，特別是涉及一種撓式模具的制造方法。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的微透鏡陣列具有多種方法，光阻熱熔法是其中一種，其是利用微影與蝕刻制程，在一塊基板上形成透鏡承載層及光阻層，并利用光罩在光阻層上曝光顯影來定以微透鏡陣列的成型區(qū)域，在將成型區(qū)域之外的承載層及光阻層蝕刻去除，以形成微結(jié)構(gòu)，再經(jīng)過加熱處理，使該微結(jié)構(gòu)熔化，并藉由內(nèi)聚力與表面張力的作用使該微結(jié)構(gòu)可自動(dòng)凝聚成半球狀之微透鏡陣列結(jié)構(gòu)。

傳統(tǒng)的光阻熱熔法制造的微透鏡曲率半徑雖可以由光阻層的厚度控制，但是，半球狀表面的控制不易精確控制，因此整體之制程不穩(wěn)定。

越來越多類型的微透鏡采用納米壓印技術(shù)制造，在傳統(tǒng)納米壓印過程中，通常會(huì)在母模上以澆注的方式涂布聚二甲基硅氧烷(PDMS，poly?dimethyl?siloxane)材料，加熱固化后在將PDMS從母模上脫下以得到才質(zhì)為PDMS的軟模，并且用該軟模進(jìn)行壓印得到微透鏡。

但是，在將PDMS澆注到母模上后，PDMS內(nèi)部會(huì)有氣泡，從而使得固化后的PDMS軟模內(nèi)部相應(yīng)產(chǎn)生空洞以影響軟模的質(zhì)量，進(jìn)而使得壓印成型的微透鏡的參數(shù)會(huì)有所瑕疵。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，有必要提供一種可排除氣泡的撓式模具的制造方法。

一種撓式模具的制造方法，其包括：提供一個(gè)基板和一個(gè)鐵氟龍材料制成的固定裝置，所述固定裝置包括一個(gè)圓形本體及設(shè)置在所述本體幾何中心的通孔；將所述基板收容在所述固定裝置的通孔內(nèi)，并將聚二甲基硅氧烷放置在所述基板；以150至350轉(zhuǎn)/分的轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)所述基板45至90秒以將聚二甲基硅氧烷涂布在所述基板上形成聚二甲基硅氧烷膜層；采用壓模壓印所述聚二甲基硅氧烷膜層；將所述固定裝置與所述基板分離；在100至160度環(huán)境下加熱聚二甲基硅氧烷膜層20至35分鐘使聚二甲基硅氧烷膜層固化；將所述聚二甲基硅氧烷膜層與所述基板分離得到撓式模具。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例的制造方法將基板設(shè)置在鐵氟龍材質(zhì)的本體內(nèi)部并且采用旋轉(zhuǎn)涂布使得聚二甲基硅氧烷擴(kuò)散至基板的整個(gè)表面，由于離心力的作用，聚二甲基硅氧烷內(nèi)的氣泡會(huì)跑至基板邊緣和本體上從而間接消除了氣泡，使得固化后的聚二甲基硅氧烷內(nèi)部不會(huì)產(chǎn)生空洞以得到高質(zhì)量的撓式模具。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例撓式模具的制造方法的流程圖，該方法涉及一個(gè)固定裝置。

圖2是圖1中固定裝置的平面示意圖。

圖3是圖2中III-III的剖面示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1所示，一種撓式模具的制造方法，其包括：

提供一個(gè)基板和一個(gè)鐵氟龍材料制成的固定裝置，所述固定裝置包括一個(gè)圓形本體及設(shè)置在所述本體幾何中心的通孔；

將所述基板收容在所述固定裝置的通孔內(nèi)，并將10至15立方厘米的聚二甲基硅氧烷放置在所述基板；

以150至350轉(zhuǎn)/分的轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)所述基板45至90秒以將聚二甲基硅氧烷涂布在所述基板上形成聚二甲基硅氧烷膜層；

采用壓模壓印所述聚二甲基硅氧烷膜層；

將所述固定裝置與所述基板分離；

在100至160度環(huán)境下加熱聚二甲基硅氧烷膜層20至35分鐘使聚二甲基硅氧烷膜層固化；

將所述聚二甲基硅氧烷膜層與所述基板分離得到撓式模具。

請(qǐng)一并參閱圖2及圖3，固定裝置10在撓式模具的制造方法中用來固定圓形基板20。固定裝置10包括圓形本體11、設(shè)置在本體11幾何中心的通孔12和橡膠制成的O形環(huán)13。

基板20可以為玻璃基板或者硅基板。

本體11的材料為鐵氟龍(Teflon)，通孔12的直徑D1大于圓形基板20的直徑。

本體11具有相對(duì)的第一端面111和第二端面112，通孔12的孔壁上靠近第二端面112位置設(shè)置有周向凹槽120。O形環(huán)13設(shè)置在周向凹槽120內(nèi)，且直徑D2等于或略小于圓形基板20的直徑。

當(dāng)然，周向凹槽120也可以靠近第一端面111。

由于圓形基板20與本體11之間具有O形環(huán)13，其可將圓形基板20固定在通孔12內(nèi)而不會(huì)在旋轉(zhuǎn)過程發(fā)生移位；并且在旋轉(zhuǎn)過程中，O形環(huán)13具有緩沖功能可以防止圓形基板20與本體11發(fā)生碰撞。