[發明專利]薄膜沉積用電泳設備

有效

• 申請號: 200910273199.4
• 申請日: 2009-12-14
• 公開（公告）號: CN101709498A
• 公開（公告）日: 2010-05-19
• 發明（設計）人: 周東祥;簡剛;鄭亞楠;傅邱云;劉歡
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: C25D13/00
• 分類號: C25D13/00
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 李智

技術領域

本發明涉及一種應用電泳技術在導電襯底上沉積膜層的電泳設備。

背景技術

目前薄膜沉積一般都采用自行組裝的設備，如用燒杯或其它槽狀容器作為電泳槽，用普通的夾具固定導電電極，一般很難精確控制電極間距以及保持其平行和處于豎直，或保持電極間距不動，實驗誤差較大。由于大多數有機溶劑都有腐蝕性，以及在長時間的通過較高的直流電壓的情況下，腐蝕會很嚴重，對電極夾具和槽都有很大的損傷，也會影響到實驗本身。同時，對于固定電泳槽的位置，單單改變電極的位置，也是很難實現的。

發明內容

本發明的目的是克服當前自行組裝簡易的膜層沉積電泳設備的缺陷，提供一種薄膜沉積用可調電泳設備，可精密調節電極間距，操作方便、穩定、可靠。

薄膜沉積用電泳設備，包括一底座8，底座8上安放有電泳槽7，底座8上電泳槽7四角上分別固定有一支撐桿2，支撐桿間承載有水平滑槽；水平滑槽的頂板4和底板5分別開有一滑道，兩滑道間插有兩個電極夾具1，水平滑槽的頂板4滑道邊沿刻劃有刻度線；水平滑槽的兩側分別設有一螺旋測微器頭3，螺旋測微器頭3通過絕緣連接件9連接相近的電極夾具，旋轉螺旋測微器頭推動相接電極夾具在滑槽內水平移動，旋轉螺旋測微器頭3和電極夾具1之間還接有彈簧；兩電極夾具底部分別夾持一電極1-5，電極位于電泳槽7內。

薄膜沉積用精密可調電泳設備有如下優點：

與現有的自組裝的簡易電泳設備比較，優點為：(1)電極位置的精密可調：電極在水平的間距通過螺旋測微器頭控制，可調范圍是1.2cm～6.2cm，最小可調0.01mm，且可以固定；在豎直方向，電極可以整體移動，自身保持水平，移動范圍10cm；沉積過程中，兩電極始終保持互相平行，并且處于豎直的方向，極大的降低了實驗的誤差。(2)安全措施良好，電泳槽的關鍵位置都有絕緣保護，在高電壓下電泳不會有危險。(3)使用方便，電極夾具頂端可以直接外接直流電源，根據需要選擇量程；水平滑槽頂端的標尺，可以直觀顯示電極的間距；底座上開出的槽用于安放電泳槽，同時也方便沉積完畢時槽的取出。現有的電泳槽都不能同時具有上述功能。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖的正視圖。

圖2是本發明的結構示意圖的俯視圖。

圖3是本發明的電極夾具1的結構圖。

圖4是本發明的電泳槽7的結構圖。

圖5是本發明的水平滑槽底板5的結構圖。

圖6是本發明的水平滑槽頂板4的結構圖。

圖7是本發明的底座8結構圖。

具體實施方式

參考圖1和2，電泳設備包括一底座8，底座8上安放有電泳槽7，底座8上電泳槽7四角上分別固定有一支撐桿2，支撐桿間承載有水平滑槽。水平滑槽包括頂板4和底板5，為了保證兩板維持較好的平行度，兩板之間通過四個相同高度的不銹鋼柱體6連接。

為了實現電極夾具之間水平間距可調，在滑槽的頂板4和底板5上分別開有一滑道(如圖5所示)，頂板4滑道邊沿還刻劃有刻度線4-1(如圖6所示)，將兩個電極夾具1插入兩滑道間。水平滑槽的兩側分別設有一螺旋測微器頭3，螺旋測微器頭3固定于底板5上，螺旋測微器頭3通過絕緣連接件9連接與其相近的電極夾具，旋轉螺旋測微器頭可推動相接電極夾具在滑槽內水平移動。電極夾具1與螺旋測微器頭固定部件之間有彈簧相接，彈簧始終處于被拉伸的狀態，保證只有在旋轉螺旋測微器頭的情況下，電極夾具1才能向中間移動。

電極夾具結構見圖3所示，其包括頭部1-1、中間部分1-3和尾桿1-4三個部分。頭部1-1伸出滑槽頂板4，用于外接直流電源；中間部分1-3寬于頭部1-1和尾部1-4，夾在滑槽頂板4和底板5之間，為方形結構，中間部分1-3側面通過絕緣連接件與螺旋測微器頭3連接，保證電極夾具在滑動時能夠平穩。尾桿1-4底端伸出滑槽底板5用于夾持電極1-5。尾桿1-4特別設計為方形柱體，這樣在通過移動兩電極夾具1進行水平調距的過程中，有效保證兩電極1-5的平行。尾桿1-4夾持電極的部位設計為一凹槽形式，電極1-5被夾持端放入凹槽，再采用螺母1-6旋緊固定，這里沒有采用夾子等其它夾持方式，是因為凹槽和方形柱體的尾桿1-4能夠保證電極維持豎直。

電泳槽7優選為方形槽，有利于電場在兩電極之間的均勻分布。在電泳過程中，需要保證電泳槽位置固定，因此本發明在底座8上開有方形凹槽，如圖8所示，方形凹槽既可以固定電泳槽，又方便電泳槽的取出。