[發明專利]一種芯片拾放控制方法及裝置有效
| 申請號: | 200910272685.4 | 申請日: | 2009-11-06 |
| 公開(公告)號: | CN101707181A | 公開(公告)日: | 2010-05-12 |
| 發明(設計)人: | 尹周平;蔡偉林;陳建魁;王瑜輝;熊有倫 | 申請(專利權)人: | 華中科技大學 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/68;H01L21/50 |
| 代理公司: | 華中科技大學專利中心 42201 | 代理人: | 李智 |
| 地址: | 430074 湖北*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 控制 方法 裝置 | ||
1.一種芯片拾放裝置,包括支撐機構30、安裝在其上的直線驅動機構(10)、旋轉驅動機構(20)、花鍵(24)和芯片拾放機構(40),花鍵(24)包括花鍵軸(242)和套在其表面的花鍵套(243);
直線驅動機構(10)包括直線驅動音圈電機(11)、彈簧(22)、電氣限位組件(13)和電機位置檢測組件(14),直線驅動音圈電機(11)連接花鍵軸(242)一端,花鍵軸(242)的另一端連接芯片拾放機構(40),花鍵軸(242)上設有彈簧(22),花鍵軸(242)的一側設有電氣限位組件(13),另一側設有電機位置檢測組件(14);
旋轉驅動機構(20)包括傳動機構和旋轉驅動電機(23),花鍵套(243)通過傳動機構連接旋轉驅動電機(23)。
2.根據權利要求1所述的芯片拾放裝置,其特征在于,在直線驅動音圈電機(11)與花鍵軸(242)之間設有直線導向組件(12),直線導向組件(12)包括導軌(123)和放在其上的滑塊(122),滑塊(122)一端連接直線驅動音圈電機(11),另一端連接花鍵軸(242)。
3.根據權利要求2所述的芯片拾放裝置,其特征在于,在花鍵軸(242)靠近直線驅動音圈電機(11)的軸端處固定有軸承,其中軸承內圈與花鍵軸連接,軸承外圈與音圈電機相連。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





