[發明專利]利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準裝置及其方法

有效

• 申請號: 200910264459.1
• 申請日: 2009-12-23
• 公開（公告）號: CN101727026A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 朱健;周相杰;賈世星;吳璟
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第五十五研究所
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;B41M1/12
• 代理公司: 南京君陶專利商標代理有限公司 32215
• 代理人: 沈根水

1.一種利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準裝置，其特征是它至少包括輔助定位夾具、活動絲網框和不同厚度的輔助墊片，其中輔助定位夾具與接觸式光刻機構造兼容；輔助定位夾具內側邊緣有兩個磁力感應器，與接觸式光刻機上的磁感應傳感器位置對應，使光刻機能夠感應到夾具移動是否到位；采用嵌入式螺絲結構固定安裝活動絲網框；承片臺左右兩邊對稱放置輔助墊片，輔助墊片高度高于多層堆疊晶圓片放置的水平高度，阻止承片臺向上運動時晶圓片碰觸到軟的絲網而損壞絲網，并利用高度差為100μm的輔助墊片對多層堆疊晶圓片與絲網間的印刷高度進行粗調，印刷質量不隨厚度改變而降低，真正實現絲網印刷在光刻機上的高精度對準。

2.根據權利要求1所述的一種利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準裝置，其特征是輔助定位夾具的背面有三個小圓盤，三點決定一平面，以保證輔助定位夾具與光刻機的曝光平臺高度平行。

3.根據權利要求1所述的一種利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準裝置，其特征是輔助定位夾具與活動絲網框是可拆卸式結構，方便更換不同印刷圖形的網框。

4.根據權利要求1所述的一種利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準裝置，其特征是多層堆疊晶圓片的層與層之間連接采用的印刷漿料是玻璃漿料。

5.一種根據權利要求1的裝置的利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準的方法，其特征是光刻時，將輔助定位夾具插入到接觸式光刻機里，通過光刻機里的程序設置壓縮空氣將承片臺向上運動進行接觸式光刻，通過顯微鏡對準系統將絲網的印刷圖形與承片臺上的晶圓片的圖形對準，再將顯微鏡對準系統抬上去，將印刷涂料放于絲網上用刮板進行圖形印刷，然后承片臺向下回到原位，取出晶圓片，最小允許偏差是接觸式對準光刻機的精度3μm。

6.根據權利要求5所述的一種利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準的方法，其特征是利用承片臺在壓縮空氣作用下向上運動接觸到輔助定位夾具，光刻機在相應傳感器接收到信號后會控制承片臺定位并向下微調，從而與光刻版保持在規定微距范圍內，左右調節承片臺的位置直至與光刻版上的圖形對準的工作原理，采用輔助定位夾具代替光刻版夾具裝入到光刻機后，其上面的絲網較軟，承片臺上的晶圓片接觸到絲網后由于光刻機無法正確給相應的傳感器傳達指示信號，使得承片臺繼續上行而損壞絲網，為此將精密設計的高平整度輔助墊片放置在承片臺的兩側，且輔助墊片水平高度超過晶圓片放置的水平高度，隨承片臺一起向上運動，輔助墊片碰觸到上面輔助定位夾具后傳感器會正確傳遞指示信號，從而正常完成晶圓片對準前的Z向精確定位。

7.根據權利要求5所述的一種利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準的方法，其特征是根據承片臺上多層堆疊晶圓片的厚度變化情況配以不同高度的輔助墊片，輔助墊片高度在5mm-10mm范圍內以100μm間距變化不等，不僅適用于非常規厚度的晶圓片堆疊，還可靈活粗調間距，使得晶圓片與絲網間的高度即網距始終保持在可印刷范圍內，不因晶圓片厚度的改變而降低印刷質量。

8.根據權利要求5所述的一種利用接觸式光刻機提高絲網印刷精確對準的方法，其特征是利用光刻機上的軟件控制程序再對晶圓片與絲網的間距進行細調，使漿料適量地落在規定間距的晶圓片上保證印刷質量。