[發明專利]處理室的高效UV清潔

無效

• 申請號: 200910261086.2
• 申請日: 2006-04-18
• 公開（公告）號: CN101736316A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 托馬斯·諾瓦克;均·卡洛斯·若徹-阿勒圭瑞;安德則耶·卡祖巴;斯科特·A·亨德里克森;達斯廷·W·霍;薩恩吉夫·巴盧哈;湯姆·周;約瑟芬尼·常;海澈姆·穆薩德
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;B08B7/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 趙飛;南霆

1.一種用于將設置在襯底上的介質材料固化的紫外(UV)固化室， 包括：

主體，限定彼此分離并相鄰的第一和第二處理區域；

蓋，耦合到所述主體的頂部，以覆蓋所述第一和第二處理區域，其中 所述蓋包括分別位于所述第一和第二處理區域上方對準的第一和第二石英 窗口；

第一和第二UV源，分別設置在所述第一和第二石英窗口上方；

第一和第二殼體，耦合到所述蓋并且分別覆蓋所述第一和第二UV 源；以及

第一和第二反射器，分別設置在所述第一和第二殼體中，并且所述第 一和第二反射器中每一個可移動，以調節由所述反射器引導到所述處理區 域的UV光的圖案。

2.根據權利要求1所述的紫外(UV)固化室，其中，到所述第一和第 二處理區域的氣體入口適于將臭氧共用到所述處理區域中用于清潔處理。

3.根據權利要求1所述的紫外(UV)固化室，還包括與所述第一殼體 的內部和所述第二殼體的內部流體連通以冷卻設置在其中的所述第一和第 二UV源的中央空氣源。

4.根據權利要求3所述的紫外(UV)固化室，還包括與所述第一殼體 的內部和所述第二殼體的內部流體連通以收集其中加熱的空氣并從空氣中 去除臭氧的共用排氣系統。

5.根據權利要求1所述的紫外(UV)固化室，還包括分別設置在所述 第一和第二處理區域中用于支撐所述襯底的第一和第二加熱并且可移動的 底座。

6.根據權利要求1所述的紫外(UV)固化室，還包括用于激發所述第 一和第二UV源的至少一個電源，所述至少一個電源中的每一個為至少一 個微波發生器。

7.根據權利要求1所述的紫外(UV)固化室，還包括用于激發所述第 一和第二UV源的至少一個電源，所述至少一個電源中的每一個為至少一 個射頻發生器。

8.根據權利要求1所述的紫外(UV)固化室，其中，所述第一和第二 UV源中的每一個包括一個或多個UV燈泡。

9.根據權利要求8所述的紫外(UV)固化室，其中，所述一個或多個 UV燈泡中的每一個具有相對于分別定位在所述第一和第二處理區域中的 第一和第二襯底沿豎直方向取向的長軸。

10.根據權利要求8所述的紫外(UV)固化室，其中，所述UV固化 室安裝傳送室上。

11.根據權利要求1所述的紫外(UV)固化室，其中，所述第一和第 二殼體分別具有涂覆有雙色膜的第一和第二石英襯里。

12.根據權利要求8所述的紫外(UV)固化室，其中，所述第一和第 二UV源中的每一個包括第一UV燈泡和第二UV燈泡。

13.根據權利要求12所述的紫外(UV)固化室，其中，所述第一UV 燈泡發射第一波長分布，所述第二UV燈泡發射第二波長分布，所述第一 波長分布與所述第二波長分布不同。

14.根據權利要求12所述的紫外(UV)固化室，其中，所述第一UV 燈泡能夠獨立于所述第二UV燈泡被打開。

15.一種用于將設置在襯底上的介質材料固化的紫外(UV)固化室， 包括：

主體，限定彼此分離并相鄰的第一和第二處理區域；

蓋，耦合到所述主體的頂部，以覆蓋所述第一和第二處理區域，其中 所述蓋包括分別位于所述第一和第二處理區域上方對準的第一和第二石英 窗口；

第一和第二UV源，分別設置在所述第一和第二石英窗口上方；

第一和第二殼體，耦合到所述蓋并且分別覆蓋所述第一和第二UV 源，所述第一和第二殼體具有分別涂覆有雙色膜的第一和第二石英襯里， 所述第一和第二石英襯里中每一個可移動，以調節由所述石英襯里引導到 所述處理區域的UV光的圖案。

16.根據權利要求15所述的紫外(UV)固化室，其中，所述雙色膜包 括由多種非金屬的介質材料組成的周期性多層膜，所述多層膜交替地具有 高折射率和低折射率。