[發(fā)明專利]電化學(xué)加工設(shè)備及加工方法及其電極單元

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910259765.6
• 申請日: 2009-12-25
• 公開（公告）號: CN102107304A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 洪榮洲;許志成;吳文杰;林大裕
• 申請（專利權(quán)）人: 財團(tuán)法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心
• 主分類號: B23H3/00
• 分類號: B23H3/00;B23H3/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種電化學(xué)加工設(shè)備，該電化學(xué)加工設(shè)備用以加工至少一工件，該電化學(xué)加工設(shè)備包含有：

一槽體，具有一電解液，其中該工件位于該電解液中；

一絕緣管，具有至少一孔洞，位于該電解液中；

一液態(tài)金屬，填充于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極，以對該工件加工；以及

一電源單元，其兩極分別耦接該工件與該液態(tài)金屬。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其更包含：

一控制裝置，包含一伸縮控制單元用以施加一壓力于該液態(tài)金屬，以控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該伸縮控制單元為一加壓器，該加壓器為一壓電材料所制。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該控制裝置依據(jù)復(fù)數(shù)個壓力控制參數(shù)而控制施加于該液態(tài)金屬的該壓力的大小，而控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該控制裝置更包含：

一數(shù)據(jù)庫，儲存有該些壓力控制參數(shù)，該些壓力控制參數(shù)對應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置；以及

一微處理單元，讀取該些壓力控制參數(shù)，且依據(jù)該些壓力控制參數(shù)產(chǎn)生一控制訊號；

其中，該伸縮控制單元耦接該微處理單元，且依據(jù)該控制訊號控制施加于該液態(tài)金屬的該壓力的大小，以控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其更包含：

一控制裝置，包含一伸縮控制單元用以施加一溫度于該液態(tài)金屬，以控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該伸縮控制單元為一加熱器，該加熱器為電阻材料所制。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該控制裝置依據(jù)復(fù)數(shù)個溫度控制參數(shù)而控制施加于該液態(tài)金屬的該溫度的大小，而控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該控制裝置更包含：

一數(shù)據(jù)庫，儲存有該些溫度控制參數(shù)，該些溫度控制參數(shù)對應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置；以及

一微處理單元，讀取該些溫度控制參數(shù)，且依據(jù)該些溫度控制參數(shù)產(chǎn)生一控制訊號；

其中，該伸縮控制單元耦接該微處理單元，且依據(jù)該控制訊號控制施加于該液態(tài)金屬的該溫度的大小，以控制該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求5或9所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該數(shù)據(jù)庫儲存有復(fù)數(shù)個加工電流控制參數(shù)，該些加工電流控制參數(shù)對應(yīng)于該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置；以及該控制裝置更包含一傳感器，偵測該電源單元的一加工電流信息，該微處理單元依據(jù)該加工電流信息與該數(shù)據(jù)庫的該些加工電流控制參數(shù)比較后的一差值，而更改該伸縮控制單元施加的該壓力或該溫度于該液態(tài)金屬，以致調(diào)整該液態(tài)金屬伸入該孔洞的位置。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該電源單元的一正極耦接該工件，一負(fù)極耦接該液態(tài)金屬。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)加工設(shè)備，其中該液態(tài)金屬為水銀或鎵。

13.一種電化學(xué)加工方法，其包含有下列步驟：

提供一槽體、至少一工件與一絕緣管，其中該槽體具有一電解液，該工件與該絕緣管位于該電解液中，該絕緣管具有至少一孔洞；

填充一液態(tài)金屬于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極，以對該工件加工；以及

分別耦接一電源單元的兩極于該工件與該液態(tài)金屬。

14.一種用于電化學(xué)加工的電極單元，其包含有：

一絕緣管，具有至少一孔洞；以及

一液態(tài)金屬，填充于該絕緣管內(nèi)，并伸入該孔洞，而為一電極。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的用于電化學(xué)加工的電極單元，其中該液態(tài)金屬為水銀或鎵。