[發明專利]一種用于低溫材料出氣性能測試的金屬系統

有效

• 申請號: 200910259344.3
• 申請日: 2009-12-17
• 公開（公告）號: CN101718666A
• 公開（公告）日: 2010-06-02
• 發明（設計）人: 孫冬花;陳聯;溫永剛;陳光奇
• 申請（專利權）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一○研究所
• 主分類號: G01N7/14
• 分類號: G01N7/14
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 張利萍

1.一種對低溫材料出氣性能進行測試的金屬系統，其特征在于：該系統由樣品室(1)、電容規(2)、微調閥(3)、金屬軟管(4)、高真空角閥(5)、液氮冷阱(6)、質譜計(7)、插板閥(8)、分子泵(9)和機械泵(10)組成；其連接關系為：機械泵(10)作為前級泵與分子泵(9)相連，分子泵(9)通過插板閥(8)與液氮冷阱(6)垂直連接；液氮冷阱(6)左右兩側各有一法蘭連接口；質譜計(7)通過一個直角三通與液氮冷阱(6)和金屬軟管(4)連接，直角三通的垂直法蘭端與液氮冷阱(6)右側法蘭連接，另一端與金屬軟管(4)連接；高真空角閥(5)的一側通過一直角彎頭與液氮冷阱(6)左側法蘭連接，另一側通過法蘭連接方式與樣品室(1)相連；樣品室(1)上端接有兩根直管，一根直管通過密封法蘭與金屬四通相連，金屬四通的其他三個接口分別通過快卸法蘭的連接方式與電容規連接；另一根直管通過球頭密封方式與微調閥(3)的一端連接，微調閥(3)的另一端則與金屬軟管(4)連接；

樣品室(1)是由304鋼材料制成，且內部經過拋光鈍化處理，樣品室(1)是內徑為40～60mm、壁厚為1.2～1.8mm、長度為300～500mm的圓筒體，樣品室(1)密封方式為金屬密封；

高真空角閥(5)采用金屬角閥。