[發明專利]一種小孔流導的測量方法

有效

• 申請號: 200910259318.0
• 申請日: 2009-12-17
• 公開（公告）號: CN101900632A
• 公開（公告）日: 2010-12-01
• 發明（設計）人: 李得天;馮焱;成永軍;張滌新;郭美如
• 申請（專利權）人: 中國航天科技集團公司第五研究院第五一○研究所
• 主分類號: G01M10/00
• 分類號: G01M10/00;G01N11/04
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 張利萍

1.一種小孔流導的測量方法，實現該方法的該裝置由活塞(1)、絕對式壓力計(2)、真空閥門(3)、變容室(4)、小孔(5)、真空閥門(6)、真空室(7)、高真空規(8)、真空閥門(9)、真空泵(10)、真空閥門(11)、真空泵(12)、氣瓶(13)和真空閥門(14)組成；其連接關系為：活塞(1)和變容室采用動密封連接，絕對式壓力計(2)通過真空閥門(3)與變容室(4)連接，氣瓶(13)通過真空閥門(14)與變容室(4)連接，真空泵(12)通過閥門(11)與變容室(4)連接，高真空計(8)與真空室(7)直接連接，真空泵(10)通過閥門與真空室(7)連接，變容室(4)通過小孔(5)、真空閥門(6)與真空室(7)連接；其特征在于：

1)打開閥門(3)，打開電容薄膜規(2)，打開真空泵(12)，打開閥門(11)對變容室(4)抽真空；

2)關閉閥門(11)，打開閥門(14)，對變容室(4)充氣，氣體壓力由電容薄膜規(2)測量，記錄讀數為p；

3)打開閥門(9)，打開真空泵(10)，對真空室(7)抽真空，真空度由電離規(8)測量；

4)打開閥門(6)，使變容室(4)的的氣體通過小孔(5)流入到真空室(7)，計時為t1；當變容室(4)的壓力降低為(1-1‰)p時，活塞(1)開始推進以減小變容室(4)的容積使變容室(4)中的壓力上升；活塞面積為A；

5)當變容室(4)的壓力上升為(1+1‰)p時，活塞(1)停止運動，這時變容室(4)中的壓力又開始降低；

6)當變容室(4)的壓力降低為p時，計時為t₂，活塞的移動距離計為s；

7)小孔(5)的流導C用C＝A×s/(t₂-t₁)計算得到；

8)用貝賽爾公式計算流導測量不確定度。

2.根據權利要求1所述的一種小孔流導的測量方法，其特征在于：步驟1)中變容室(4)的真空度小于1×10^-1Pa，溫度為23℃。

3.根據權利要求1所述的一種小孔流導的測量方法，其特征在于：所述步驟2)中變容室(4)充入的氣體壓力p不超過1000Pa。

4.根據權利要求1所述的一種小孔流導的測量方法，其特征在于：所述步驟3)中真空室(7)的真空度低于1×10^-4Pa。?

5.根據權利要求1所述的一種小孔流導的測量方法，其特征在于：所述步驟4)中活塞(1)直徑范圍為(0.0008-0.005)m。

6.根據權利要求1所述的一種小孔流導的測量方法，其特征在于：所述步驟4)中活塞(1)與變容室(4)為動密封連接，且不發生泄漏；活塞(1)的截面積A由計量部門測量，并出具測量證書；所述步驟4)中當變容室(4)的壓力在(1-1‰)p±0.00005p范圍時，既認為變容室(4)的壓力降低為(1-1‰)p。

7.根據權利要求1所述的一種小孔流導的測量方法，其特征在于：所述步驟5)中當變容室(4)的壓力在(1+1‰)p±0.00005p范圍時，既認為變容室(4)的壓力上升為(1+1‰)p。

8.根據權利要求1所述的一種小孔流導的測量方法，其特征在于：所述步驟6)中當變容室(4)的壓力在p±0.00005p范圍時，既認為變容室(4)的壓力降低為(1+1‰)p。

9.根據權利要求1所述的一種小孔流導的測量方法，其特征在于：所述步驟7)中流導C取n次(n≥6)測量的平均值。?