[發(fā)明專利]一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910259309.1 | 申請日： | 2009-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN101750140A | 公開（公告）日： | 2010-06-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 顏則東;王先榮;王鷁;姚日劍;柏樹;馮杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國航天科技集團公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分類號： | G01G23/01 | 分類號： | G01G23/01 |
| 代理公司： | 北京理工大學(xué)專利中心 11120 | 代理人： | 張利萍 |
| 地址： | 730000*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 石英 晶體 微量 天平 校準(zhǔn) 方法 | ||
1.一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：
1)安裝石英晶體微量天平系統(tǒng)和橢偏儀系統(tǒng)，采用磁控濺射設(shè)備，將金靶置于真空室內(nèi)，在石英晶體微量天平表面沉積重金屬金；
2)啟動真空系統(tǒng)，使真空室工作在分子流工作狀態(tài)；
3)調(diào)整橢偏儀系統(tǒng)，調(diào)整石英晶體微量天平零點；
4)通過充氣系統(tǒng)，給真空系統(tǒng)注入惰性氣體；
5)開啟磁控濺射設(shè)備，濺射金靶，并觀察、記錄真空室的真空度；
6)監(jiān)測石英晶體微量天平的各種參數(shù)，主要包括頻率值和溫度值，保存各種參數(shù)及各種數(shù)據(jù)記錄；
7)監(jiān)測橢偏儀系統(tǒng)的各種參數(shù)，主要包括S偏振光電流和P偏振光電流，保存各種參數(shù)及各種數(shù)據(jù)記錄；
8)關(guān)閉測試系統(tǒng)，關(guān)閉惰性氣體充氣系統(tǒng)，關(guān)閉真空系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：步驟1)中石英晶體微量天平的本征頻率為10MHz、15MHz或20MHz；橢偏儀系統(tǒng)光源為632.8nm的He-Ne激光源；真空室真空度小于1×10-3Pa；石英晶體微量天平與濺射金靶的視角為180°，橢偏儀激光束與石英晶體微量天平的夾角為30°～80°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：步驟2)中真空系統(tǒng)為無油真空系統(tǒng)，真空泵按順序啟動冷阱、機械泵和分子泵；啟動分子泵前真空度小于1×10-1Pa，真空系統(tǒng)的真空度小于1×10-3Pa，30min后，開啟液氮低溫制冷系統(tǒng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：步驟3)中激光器預(yù)熱10～20min；調(diào)節(jié)儀器中控制樣品位置的旋鈕，使入射光經(jīng)樣品表面反射后的出射光進(jìn)入檢測器的入口；將補償器的方位角定為45°，調(diào)節(jié)起偏角和檢偏器，記錄檢測器的讀數(shù)達(dá)到最小時的兩組共扼角；然后再將補償器的方位角定為-45°，調(diào)節(jié)起偏角和檢偏器，記錄下檢測器的讀數(shù)達(dá)到最小時的另外兩組共扼角；改變?nèi)肷浣堑拇笮≈翙z測器電流值最大。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：步驟4)中通過充氣系統(tǒng)給真空系統(tǒng)充氣，真空室充氣壓力為1×10-1～1×10-2Pa。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：步驟5)中磁控濺射設(shè)備開啟保持真空室的真空度為1×10-1～1×10-2Pa。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：步驟6)中頻率和溫度監(jiān)測數(shù)據(jù)速率大于1次/min。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：步驟7)中監(jiān)測橢偏儀系統(tǒng)的S偏振光電流和P偏振光電流；調(diào)節(jié)儀器中控制樣品位置的旋鈕，使入射光經(jīng)樣品表面反射后的出射光進(jìn)入檢測器的入口；將補償器的方位角定為45°，調(diào)節(jié)起偏角和檢偏器，記錄下檢測器的讀數(shù)達(dá)到最小時的兩組共扼角；將補償器的方位角定為-45°，再調(diào)節(jié)起偏角和檢偏器，記錄下檢測器的讀數(shù)達(dá)到最小時的另外兩組共扼角；改變?nèi)肷浣堑拇笮≈翙z測器電流值最大，保存各種參數(shù)及各種數(shù)據(jù)記錄。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶體微量天平的校準(zhǔn)方法，其特征在于：步驟8)中按順序關(guān)閉測試系統(tǒng)、液氮制冷系統(tǒng)和真空系統(tǒng)。
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