[發(fā)明專利]流體抽取系統(tǒng)、光刻設(shè)備和器件制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910253279.3
• 申請(qǐng)日: 2009-12-11
• 公開（公告）號(hào): CN101762986A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: N·R·凱姆皮爾;R·N·J·范巴萊高吉;M·M·P·A·沃姆倫;M·瑞鵬;M·W·范登胡威爾;P·P·J·博克文斯;C·德米特森阿爾;J·M·W·范登溫凱爾;C·M·諾普斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 王新華

1.一種用以抽取光刻設(shè)備中的兩相流體的流體抽取系統(tǒng)，所述流體抽 取系統(tǒng)包括：

抽取通道，其用于使兩相流體流從其中通過(guò)；和

緩沖腔，其包括氣體體積體，所述緩沖腔與所述抽取通道流體連接，

其中，所述流體抽取系統(tǒng)被配置成使得防止液體進(jìn)入所述緩沖腔中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體抽取系統(tǒng)，其被配置成使得沒(méi)有氣體通 過(guò)所述緩沖腔從所述流體抽取系統(tǒng)被抽取。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體抽取系統(tǒng)，其被配置成使得從所述抽取 系統(tǒng)抽取的所述氣體的至少70%穿過(guò)位于所述緩沖腔下游的所述抽取通 道。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體抽取系統(tǒng)，其被配置成使得從所述抽取 系統(tǒng)抽取的所述氣體的90%穿過(guò)位于所述緩沖腔下游的所述抽取通道。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體抽取系統(tǒng)，其被配置成使得從所述抽取 系統(tǒng)抽取的所述氣體的全部穿過(guò)位于所述緩沖腔下游的所述抽取通道。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，所述抽取 通道限定用于所述兩相流體流的路徑。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流體抽取系統(tǒng)，其中：

所述抽取通道包括所述路徑所穿過(guò)的抽取腔，所述抽取腔位于所述流 體抽取系統(tǒng)的阻擋構(gòu)件中；和

所述緩沖腔經(jīng)由與所述抽取通道分離開的連接導(dǎo)管流體連接至所述抽 取腔。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流體抽取系統(tǒng)，其中：

所述抽取通道包括位于所述抽取腔下游的抽取通路，在使用中所述兩 相流體沿所述抽取通路流動(dòng)；和

所述緩沖腔經(jīng)由與所述抽取通道分離開的連接導(dǎo)管流體連接至所述抽 取通路。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，所述緩沖腔能夠沿抽 取通路的長(zhǎng)度在多個(gè)位置處流體地連接至抽取通路。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，由柔性隔膜來(lái)限定所 述緩沖腔的表面的至少一部分。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或10所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，所述緩沖腔具 有與周圍氣體環(huán)境流體連通的開口。

12.根據(jù)權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，還包括 凈化裝置，所述凈化裝置流體連接至所述緩沖腔，并且被配置以將氣體提 供到所述緩沖腔中。

13.根據(jù)權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，還包括 分離儲(chǔ)槽，所述分離儲(chǔ)槽流體連接至所述抽取通道并且被配置以接收來(lái)自 所述抽取通道的兩相流體流，其中，所述緩沖腔在所述兩相流體進(jìn)入所述 抽取系統(tǒng)所通過(guò)的所述抽取通道的開口和所述分離儲(chǔ)槽之間的位置處與所 述抽取通道流體連接。

14.根據(jù)權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，所述緩 沖腔的體積是抽取通道的體積的至少4倍。

15.根據(jù)權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，還包括 泵，其被配置以減小作用到所述兩相流體流上的壓力，以便沿所述抽取通 道抽吸所述兩相流體流。

16.根據(jù)權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，所述緩 沖腔能夠被配置以減小兩相流體中的壓力波動(dòng)。

17.根據(jù)權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，還包括 壓力調(diào)節(jié)器，其被連接在周圍氣體環(huán)境和所述流體抽取系統(tǒng)之間，所述壓 力調(diào)節(jié)器被配置以允許來(lái)自所述周圍氣體環(huán)境的氣體從其中穿過(guò)，以便使 得所述流體抽取系統(tǒng)與所述周圍氣體環(huán)境流體連通。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，所述壓力調(diào)節(jié)器被 連接在周圍氣體環(huán)境和緩沖腔之間。

19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的流體抽取系統(tǒng)，其中，所述壓力調(diào)節(jié)器連 接到周圍氣體環(huán)境和抽取通道之間。