[發明專利]用于具有主動柔順性的測試頭的操縱器

無效

• 申請號: 200910252632.6
• 申請日: 2001-09-20
• 公開（公告）號: CN101788643A
• 公開（公告）日: 2010-07-28
• 發明（設計）人: 尼爾·O·奈;亨利·M·阿庫卡;阿利恩·R·霍爾特
• 申請（專利權）人: 英特斯特公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王冉

1.一種將測試頭與處理器對接的方法，所述方法包括如下步驟：

測量沿著所述測試頭的多根運動軸的至少一根的不平衡力；

向所述不平衡力提供反力；以及

將附在所述測試頭和所述處理器之一上的多個對準結構的至少一個與附在所述測試頭和所述處理器另一個上的多個對準插孔的至少一個對準，所述對準步驟是提供所述反力的同時完成的。

2.如權利要求1所述的方法，還包括如下步驟：

在對接所述測試頭的同時，保持所述反力。

3.如權利要求1所述的方法，還包括如下步驟：

記錄所述反力的大小。

4.如權利要求1所述的方法，還包括如下步驟：

在使所述測試頭脫離之前，重新施加所述反力。

5.如權利要求1所述的方法，還包括如下步驟：

借助于氣壓缸施加所述反力。

6.如權利要求5所述的方法，還包括如下步驟：

測量和記錄產生所述反力的氣體壓力。

7.如權利要求6所述的方法，還包括如下步驟：

在對接所述測試頭的同時，保持施加在所述氣壓缸上的氣體壓力。

8.如權利要求6所述的方法，還包括如下步驟：

在使所述測試頭脫離之前，恢復氣體壓力并將氣體壓力重新施加到所述氣壓缸上。

9.一種將測試頭與器件處理器對接的方法，所述方法包括如下步驟：

提供包括如下配置的設備：

控制器；

具有受控制器控制的致動器并限定交接面的對接設備；

測試頭操縱器，其包括：

使測試頭相對于交接面與器件處理器平面化的兩個或更多個運動自由度；

使測試頭沿著與交接面垂直的軸運動的、受控制器控制的一根或多根運動驅動軸；

操縱測試頭進入準備對準位置；

使測試頭平面化；

沿著所述軸把測試頭驅動到準備驅動位置；以及

操作致動器，把測試頭推入完全對接位置。

10.如權利要求9所述的方法，還包括如下步驟：

當處在完全對接位置中時，鎖閂測試頭。

11.如權利要求9所述的方法，還包括如下步驟：

當測試頭處在完全對接位置中時，鎖閂驅動軸。

12.如權利要求9所述的方法，其中，平衡與所述兩個或更多個自由度相對應的一根或多根軸。

13.如權利要求9所述的方法，其中，與所述兩個或更多個自由度相對應的一根或多根軸是柔順的。

14.如權利要求9所述的方法，其中，與所述兩個或更多個自由度相對應的一根或多根軸受到驅動并由控制器控制。

15.如權利要求9所述的方法，其中，一根或多根驅動軸是柔順的。

16.如權利要求9所述的方法，其中，一根或多根驅動軸是平衡的。

17.如權利要求12所述的方法，其中，一根或多根平衡軸由平衡單元來平衡。

18.如權利要求17所述的方法，還包括如下步驟：

在對接所述測試頭的同時，保持所述平衡單元提供的反力，以使所述一根或多根平衡軸平衡。

19.如權利要求17所述的方法，還包括如下步驟：

記錄所述平衡單元提供的使所述一根或多根平衡軸平衡的反力的大小。

20.如權利要求17所述的方法，還包括如下步驟：

在使所述測試頭脫離之前，重新施加由所述平衡單元提供的使所述一根或多根平衡軸平衡的反力。

21.如權利要求17所述的方法，還包括如下步驟：

借助于氣壓缸施加由所述平衡單元提供的使所述一根或多根平衡軸平衡的反力。

22.如權利要求21所述的方法，還包括如下步驟：

測量和記錄產生所述反力的氣體壓力。

23.如權利要求21所述的方法，還包括如下步驟：

在對接所述測試頭的同時，保持施加在所述氣壓缸上的氣體壓力。