[發(fā)明專利]基于碳納米管-電極結(jié)構(gòu)的溫度傳感器芯片無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200910248670.4 | 申請(qǐng)日： | 2009-12-23 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102109386A | 公開(kāi)（公告）日： | 2011-06-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 董再勵(lì);于海波;王越超;田孝軍;曲艷麗;李文榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01K7/00 | 分類號(hào)： | G01K7/00 |
| 代理公司： | 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002 | 代理人： | 俞魯江 |
| 地址： | 110016 遼*** | 國(guó)省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 納米 電極 結(jié)構(gòu) 溫度傳感器 芯片 | ||
1.一種碳納米管-電極結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括基底、碳納米管、電極，所述電極成對(duì)設(shè)置在基底上，所述碳納米管與所述的一對(duì)電極間電連接。
2.一種基于碳納米管-電極結(jié)構(gòu)的溫度傳感器芯片，其特征在于：包括碳納米管-電極結(jié)構(gòu)構(gòu)成的傳感器芯片、劃片標(biāo)記、對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記、壓焊點(diǎn)、識(shí)別標(biāo)記；所述壓焊點(diǎn)與所述碳納米管-電極結(jié)構(gòu)的電極電連接。
3.按照權(quán)利要求2所述的溫度傳感器芯片，其特征在于：所述的每個(gè)碳納米管-電極結(jié)構(gòu)具有3對(duì)指狀電極對(duì)。
4.按照權(quán)利要求2所述的溫度傳感器芯片，其特征在于：所述碳納米管-電極結(jié)構(gòu)的每對(duì)電極之間的間距為1微米，指狀電極的寬度為10微米。
5.按照權(quán)利要求2所述的溫度傳感器芯片，其特征在于：所述傳感器芯片為在2mm×2mm的區(qū)域內(nèi)集成8個(gè)碳納米管-電極結(jié)構(gòu)。
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