[發明專利]用于芯片絕緣的保護膠灌注方法及裝置有效
| 申請號: | 200910247044.3 | 申請日: | 2009-12-25 |
| 公開(公告)號: | CN101770960A | 公開(公告)日: | 2010-07-07 |
| 發明(設計)人: | 張淮;鄒冰艷;黃建偉;吳煜東;劉旭君 | 申請(專利權)人: | 株洲南車時代電氣股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 孫長龍;逯長明 |
| 地址: | 412001*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 芯片 絕緣 保護 灌注 方法 裝置 | ||
1.一種灌注保護膠的裝置,包括灌膠模具,其特征在于:還包括一端敞 口的筒狀密閉容器,該筒狀密閉容器包括保護膠注入口、使該筒狀密閉容器產 生負壓的負壓裝置、用于向保護膠施壓以輸出保護膠的加壓裝置和用于向所述 灌膠模具輸出保護膠的輸出管路,所述負壓裝置為真空泵,該真空泵通過負壓 管路連接于所述筒狀密閉容器,所述筒狀密閉容器在其敞口端裝有端蓋,所述 負壓管路、加壓裝置和輸出管路均設置于該端蓋上,而所述輸出管路延伸至筒 狀密閉容器的底部。
2.根據權利要求1所述的灌注保護膠的裝置,其特征在于:所述加壓裝 置為氣壓裝置,用于向所述筒狀密閉容器通入壓力氣體,所述輸出管路一端位 于所述筒狀密閉容器的底部。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





