[發(fā)明專利]氣缸式升降機(jī)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910246918.3
• 申請日: 2009-12-01
• 公開（公告）號: CN101813107A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;劉惠森;范繼良;雷振宇;王曼媛;王勇
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號: F15B15/14
• 分類號: F15B15/14;F15B15/20;H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種氣缸式升降機(jī)構(gòu)，更具體地涉及一種適用于真空系統(tǒng)領(lǐng)域內(nèi)真空設(shè)備腔體蓋的升降或者載物臺的升降等的氣缸式升降機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，對產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)工藝要求不斷提高，真空技術(shù)在高科技產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展中展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景，尤其體現(xiàn)在對真空環(huán)境要求極高的數(shù)碼顯示技術(shù)產(chǎn)業(yè)中。有機(jī)電致發(fā)光(Organic?ElectroluminescentLight，簡稱為OEL)技術(shù)是高新數(shù)碼顯示領(lǐng)域的新興技術(shù)，其具有兩個(gè)技術(shù)分支，一個(gè)是分子量在500～2000之間的小分子有機(jī)發(fā)光二極管(Organic?LightEmitting?Diode)簡稱為OLED或SM-OLED；另一個(gè)是分子量在10000～100000之間的高分子(又稱聚合物)有機(jī)發(fā)光二極管(Polymer?Light-Emitting?Diode)簡稱為PLED或P-OLED。OLED顯示技術(shù)是OEL顯示技術(shù)的一種，在過去的十多年里發(fā)展迅猛，取得了巨大的成就。近年來，由于OLED顯示器件具有主動發(fā)光、發(fā)光效率較高、功耗低、輕、無視角限制等優(yōu)點(diǎn)，被業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為是最有可能在未來的顯示器件市場上占據(jù)霸主地位的新一代顯示器件。所以全球越來越多的顯示器廠家紛紛投入此技術(shù)的研發(fā)，大大的推動了OLED的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。目前OLED已到大規(guī)模量產(chǎn)。OLED顯示器件是基于有機(jī)材料的一種電流型半導(dǎo)體發(fā)光器件。其典型結(jié)構(gòu)是在ITO玻璃上制作一層幾十納米厚的有機(jī)發(fā)光材料作發(fā)光層，發(fā)光層上方有一層低功函數(shù)的金屬電極。當(dāng)電極上加有電壓時(shí)，發(fā)光層就產(chǎn)生光輻射。

OLED顯示器件制備過程中很多工序要求在真空環(huán)境下完成，通過利用真空設(shè)備來實(shí)現(xiàn)高精度工藝要求，其中有很多工序涉及到升降機(jī)構(gòu)，比如承載ITO玻璃的承載臺的升降調(diào)節(jié)，腔體設(shè)備中腔蓋的升降操作等。現(xiàn)有技術(shù)中升降機(jī)構(gòu)主要有機(jī)械升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)一般采用電機(jī)經(jīng)皮帶減速后帶動絲杠旋轉(zhuǎn)，螺母連同立柱作升降運(yùn)動。立柱上端通過設(shè)置托架或者掛鉤等來完成特定的產(chǎn)品的升降調(diào)節(jié)。現(xiàn)有的升降機(jī)構(gòu)傳動結(jié)構(gòu)復(fù)雜維護(hù)成本較高，傳動平穩(wěn)性不高，不能滿足平穩(wěn)精確的升降調(diào)節(jié)需要。

因此，有必要提供一種整體結(jié)構(gòu)緊湊，易于控制，傳動簡單、平穩(wěn)、精確、可靠的氣缸式升降機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種整體結(jié)構(gòu)緊湊，易于控制，傳動簡單、平穩(wěn)、精確、可靠的氣缸式升降機(jī)構(gòu)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：提供一種氣缸式升降機(jī)構(gòu)，包括安裝座、氣缸馬達(dá)、托架及導(dǎo)向組件，所述氣缸馬達(dá)安裝在所述安裝座上，所述氣缸馬達(dá)具有活塞桿，所述活塞桿一端與所述氣缸馬達(dá)活動連接，另一端與所述托架固定連接，所述導(dǎo)向組件包括導(dǎo)向軸以及滑動地套于所述導(dǎo)向軸外的軸套，所述導(dǎo)向軸的一端與所述托架固定連接，所述導(dǎo)向軸的另一端懸空，所述導(dǎo)向軸的軸向平行于所述活塞桿的長度方向，所述軸套固定地設(shè)置在所述托架與所述安裝座之間。

較佳地，所述導(dǎo)向組件還包括支承座，所述支承座固定地設(shè)置在所述托架與所述安裝座之間，所述軸套固定在所述支承座上。所述支承座方便所述軸套的固定。較佳地，所述支承座鄰近所述托架。由于導(dǎo)向軸需要隨托架的運(yùn)動在軸套內(nèi)運(yùn)動，相應(yīng)的支承座鄰近所述托架而設(shè)，可大大減小所需導(dǎo)向軸的軸體長度，從而節(jié)約成本，使結(jié)構(gòu)緊湊。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述支承座固定在已固定的外接設(shè)備上。所述軸套固定在所述支承座上，所述支承座通過與所述外接設(shè)備固定連接將所述軸套固定在外接設(shè)備上，為所述導(dǎo)向組件提供導(dǎo)向支點(diǎn)，當(dāng)氣缸馬達(dá)推動活塞桿帶動所述托架做升降運(yùn)動時(shí)，由于托架與導(dǎo)向軸固定連接、導(dǎo)向軸與軸套配合，從而使所述托架在導(dǎo)向軸的導(dǎo)向作用下作平穩(wěn)、準(zhǔn)確、可靠的升降運(yùn)動。

在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，所述支承座與所述氣缸馬達(dá)固定連接，所述軸套固定在所述支承座上，所述支承座通過與所述氣缸馬達(dá)固定連接將所述軸套固定在氣缸馬達(dá)上，為所述導(dǎo)向組件提供了導(dǎo)向支點(diǎn)，當(dāng)氣缸馬達(dá)推動活塞桿帶動所述托架做升降運(yùn)動時(shí)，由于托架與導(dǎo)向軸固定連接、導(dǎo)向軸與軸套配合，從而使所述托架在導(dǎo)向軸的導(dǎo)向作用下作平穩(wěn)、準(zhǔn)確、可靠的升降運(yùn)動。

較佳地，所述安裝座上設(shè)有支架，所述氣缸馬達(dá)通過所述支架安裝到所述安裝座上。通過支架，進(jìn)一步將氣缸馬達(dá)穩(wěn)固地固定在所述安裝座上，使升降更平穩(wěn)。

較佳地，所述導(dǎo)向軸為滾珠花鍵軸，所述軸套為滾珠花鍵套。所述滾珠花鍵軸、滾珠花鍵套采用了高精度的配合，且具有較高的剛性、耐用性，具有平滑、強(qiáng)力的轉(zhuǎn)矩傳遞從而使精度得到飛躍性的提高。