[發明專利]真空腔體隔離機構

在審

• 申請號: 200910246913.0
• 申請日: 2009-12-01
• 公開（公告）號: CN101812670A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發明（設計）人: 楊明生;劉惠森;范繼良;王偉;郭遠倫;王曼媛;王勇
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種真空腔體隔離機構，適用于對提供真空鍍膜的真空腔體內的處理板及蒸發 源進行隔離，所述真空腔體隔離機構包括擋蓋及控制機構，所述擋蓋具有對接 板及安裝板，所述對接板與所述安裝板垂直固定連接，所述安裝板與所述真空 腔體的兩腔壁及底面相接觸，所述控制機構包括推動軸、推動板及直線驅動裝 置，所述推動軸的一端密封地穿入所述真空腔體內腔壁并與所述擋蓋固定連接， 所述擋蓋容置于所述真空腔體內且位于真空腔體內的蒸發源與處理板之間，所 述推動軸的另一端與所述推動板固定連接，所述推動板位于所述真空腔體外， 所述直線驅動裝置安裝于所述真空腔體的腔壁上并位于所述真空腔體外，所述 直線驅動裝置的輸出軸與所述推動板固定連接且相互垂直，所述直線驅動裝置 做直線往復運動并驅動所述擋蓋隔離或開通所述蒸發源與所述處理板的空間連 接。

2.如權利要求1所述的真空腔體隔離機構，其特征在于：所述控制機構還包括波 紋管，所述波紋管套于所述推動軸上且一端與所述真空腔體的腔壁密封連接， 另一端與所述推動板密封連接。

3.如權利要求1所述的真空腔體隔離機構，其特征在于：所述真空腔體隔離機構 還包括導向機構，所述導向機構包括導向軸及支撐板，所述真空腔體的腔壁上 固定有安裝所述直線驅動機構的固定板，所述導向軸的一端樞接地穿過所述推 動板并與所述固定板垂直地固定連接，所述導向軸的另一端與所述支撐板垂直 地固定連接，所述支撐板、推動板及固定板相互平行，所述導向軸與所述推動 軸及直線驅動機構的輸出軸相互平行。

4.如權利要求3所述的真空腔體隔離機構，其特征在于：所述導向機構還包括直 線軸承，所述直線軸承固定于推動板上且套接于所述導向軸上。

5.如權利要求3所述的真空腔體隔離機構，其特征在于：所述導向軸至少為兩根， 所述導向軸以所述推動軸為中心分別對稱的垂直固定于所述固定板上。

6.如權利要求1所述的真空腔體隔離機構，其特征在于：所述直線驅動機構為氣 缸式馬達。

7.如權利要求1所述的真空腔體隔離機構，其特征在于：所述擋蓋具有以惰性材 質制成的表面。