[發明專利]一種物理氣相沉積設備備件清洗方法

無效

• 申請號: 200910243845.2
• 申請日: 2009-12-23
• 公開（公告）號: CN102108482A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發明（設計）人: 肖士悅;崔曉娟;張明才;禤亮
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00;C23G1/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種物理氣相沉積PVD設備中鋁腔備件的清洗方法，其特征在于，包括：

步驟A、將鋁腔備件放入含有磷酸和去離子水的混合溶液中浸泡，去除所述備件表面附著的金屬鋁膜層；

步驟B、將經步驟A處理的鋁腔備件放入含有硝酸、氫氟酸和去離子水的混合溶液中浸泡并沖洗，或將經步驟A處理的鋁腔備件的表面進行噴砂處理。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述含有磷酸和去離子水的混合溶液中含有體積比為1.5∶1的86％的磷酸和去離子水。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述含有硝酸、氫氟酸和去離子水的混合溶液中含有體積比為1∶1∶15的70％的硝酸、49％的氫氟酸和去離子水。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟A中，在20～25℃溫度下將鋁腔備件放入磷酸和去離子水的混合溶液中浸泡，浸泡時間為1.5～2小時。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟B中，在20～25℃溫度下將鋁腔備件放入硝酸、氫氟酸和去離子水的混合溶液中浸泡，浸泡的時間為10～15min。

6.如權利要求2所述的方法，其特征在于，含有86％的磷酸和去離子水的混合溶液中，還包括70％的硝酸。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，含有70％的硝酸、86％的磷酸和去離子水的混合溶液中70％的硝酸、86％的磷酸和去離子水的體積比為1∶7∶4。

8.一種物理氣相沉積PVD設備中鈦腔備件的清洗方法，其特征在于，包括：

步驟A、將鈦腔備件放入含有雙氧水和氫氧化銨的混合溶液中浸泡，去除所述備件表面附著的金屬鈦膜層；

步驟B、將經步驟A處理的鈦腔備件放入含有硝酸、氫氟酸和去離子水的混合溶液中浸泡并沖洗或將經步驟A處理的鈦腔備件的表面進行噴砂處理。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述含有雙氧水、氫氧化銨和去離子水的混合溶液中雙氧水、氫氧化銨和去離子水的體積比為1∶1.5∶2。

10.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述含有硝酸、氫氟酸和去離子水的混合溶液中含有體積比為1∶1∶20的70％的硝酸、49％的氫氟酸和去離子水。

11.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述步驟A中，在80℃下將鈦腔備件放入含有雙氧水、氫氧化銨和去離子水的混合溶液中浸泡，浸泡的時間為2.5～3小時。

12.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述步驟B中，在20～25℃下將鈦腔備件放入含有硝酸、氫氟酸和去離子水的混合溶液中浸泡，浸泡的時間為2～5min。

13.一種物理氣相沉積PVD設備中反濺腔備件的清洗方法，其特征在于，包括：

將反濺腔備件放入含有硝酸、氫氟酸和去離子水的混合溶液中浸泡，去除所述備件表面附著的氧化物。

14.如權利要求13所述的方法，其特征在于，所述含有硝酸、氫氟酸和去離子水的混合溶液中含有體積比為1∶1∶15的70％的硝酸、49％的氫氟酸和去離子水。