[發明專利]自動標定檢驗系統及其標定檢驗方法

無效

• 申請號: 200910242931.1
• 申請日: 2009-12-18
• 公開（公告）號: CN101763096A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發明（設計）人: 吳薇;蘇乾益
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 胡小永

1.一種自動標定檢驗系統，該系統包括：

氣源，用于提供自動標定檢驗所用的待測氣體；

校準模塊，與所述氣源相連，為標定檢驗質量流量控制器提供標定檢驗基準；

標定檢驗臺，與所述校準模塊相連，用于放置待標定檢驗質量流量控制器，與PC機相連，使所述待標定檢驗質量流量控制器與PC機通信；

PC機，與所述校準模塊以及標定檢驗臺相連，用于實時讀取所述待標定檢驗質量流量控制器的流量檢測電壓，以及所述校準模塊的流量讀數，并將讀取的信息寫入所述待標定檢驗質量流量控制器，控制并完成對所述待標定檢驗質量流量控制器的標定檢驗。

2.如權利要求1所述的自動標定檢驗系統，其特征在于，所述校準模塊包括與所述氣源及所述標定檢驗臺相連的校準標準元件molbloc，以及與所述校準標準元件molbloc相連的支持元件molbox，所述校準標準元件molbloc檢測系統中的氣體流量，并將檢測結果發送給所述支持元件molbox，所述支持元件molbox與所述PC機相連，將所述校準標準元件molbloc的檢測數據顯示并發送到所述PC機。

3.如權利要求2所述的自動標定檢驗系統，其特征在于，所述氣源與所述校準標準元件molbloc之間還連接有減壓器，用于調整進入系統的氣體的壓力，使壓力保持在待標定檢驗質量流量控制器以及校準標準元件molbloc的工作壓力范圍內。

4.如權利要求1所述的自動標定檢驗系統，其特征在于，所述標定檢驗臺還與電源連接，為放置的所述待標定檢驗質量流量控制器供電。

5.如權利要求1-4任一項所述的自動標定檢驗系統，其特征在于，所述PC機與所述標定檢驗臺通過RS485接口通信。

6.一種基于權利要求1-5任一項所述的自動標定檢驗系統的自動標定檢驗方法，該方法包括步驟：

S1.將待標定檢驗質量流量控制器放置在標定檢測臺，打開氣源，使其達到滿量程；

S2.讀取達到滿量程時所述質量流量控制器的流量檢測電壓，并將此時校準標準元件mobloc的流量讀數以及所述流量檢測電壓寫入所述待標定質量流量控制器；

S3.隨機設定通過系統的氣體的流量，將所述校準標準元件molbloc的每個流量讀數，以及在每個流量讀數下的所述質量流量控制器的流量檢測電壓寫入所述待標定質量流量控制器；

S4.對所述寫入的流量讀數以及對應的流量檢測電壓進行算法擬合，完成標定；

S5.將所述質量流量控制器設置在需要檢驗的量程；

S6.比較校準標準元件molbloc的流量讀數與所述質量流量控制器的流量檢測電壓，若比較結果未超出預設精度，則判斷所述質量流量控制器合格，否則，判斷所述質量流量控制器不合格，返回步驟S3。

7.如權利要求6所述的自動標定檢驗方法，其特征在于，在步驟S4中，采用最小二乘法進行算法擬合。