[發明專利]側向耦合輸出波導的微腔激光器

無效

• 申請號: 200910242753.2
• 申請日: 2009-12-16
• 公開（公告）號: CN101741014A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 王世江;黃永箴;楊躍德
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: H01S5/10
• 分類號: H01S5/10;H01S5/40;H01S5/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種帶側向輸出波導的微腔激光器，其中包括：

一襯底；

一個上層結構，該上層結構制作在襯底上，該上層結構包括：

一個或多個諧振腔，該諧振腔為圓形或正多邊形；

一條形輸出波導，該條形輸出波導制作在襯底上，并與一個或多個諧振腔的側面相連接；

所述一個或多個諧振腔制作在條形輸出波導的一側。

2.根據權利要求1所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中所述的諧振腔包括：

一下限制層；

一有源層，該有源層生長在下限制層上，其形狀與下限制層相同；

一上限制層，該上限制層生長在有源層上，其形狀與下限制層相同。

3.根據權利要求1所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中所述的條形輸出波導為單模波導或多模波導，條形輸出波導是弱耦合波導或強耦合波導。

4.根據權利要求1所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中所述的條形輸出波導的結構和材料與諧振腔的結構和材料相同或不相同。

5.根據權利要求1所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中條形輸出波導與諧振腔相連接處為相切或是與諧振腔交疊。

6.根據權利要求1所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中多個諧振腔的尺寸相同或不相同。

7.一種帶側向輸出波導的微腔激光器，其中包括：

一襯底；

一個上層結構，該上層結構制作在襯底上，該上層結構包括：

一個或多個諧振腔，該諧振腔為圓形或正多邊形；

一條形輸出波導，該條形輸出波導制作在襯底上，并與一個或多個諧振腔的側面相連接；

所述多個諧振腔制作在條形輸出波導的兩側。

8.根據權利要求7所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中所述的諧振腔包括：

一下限制層；

一有源層，該有源層生長在下限制層上，其形狀與下限制層相同；

一上限制層，該上限制層生長在有源層上，其形狀與下限制層相同。

9.根據權利要求7所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中所述的條形輸出波導為單模波導或多模波導，條形輸出波導是弱耦合波導或強耦合波導。

10.根據權利要求7所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中所述的條形輸出波導的結構和材料與諧振腔的結構和材料相同或不相同。

11.根據權利要求7所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中條形輸出波導與諧振腔相連接處為相切或是與諧振腔交疊。

12.根據權利要求7所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中多個諧振腔的尺寸相同或不相同。

13.根據權利要求7所述的帶側向耦合輸出波導的微腔激光器，其中多個諧振腔分布于條形輸出波導兩側，為對稱或非對稱分布，所述諧振腔沿波導方向分布。